益處
- HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
- 高壓熱電離真空計(jì)可以準(zhǔn)確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內(nèi)的壓力，進(jìn)而改善過程控制
- 用戶可選的熱離子發(fā)射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲，防止過早燒毀
- 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
- RoHS 合規(guī)
典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制造、電子和媒介產(chǎn)業(yè)中的濺射應(yīng)用
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
規(guī)格
| 類型 | HPG400 | |
|---|---|---|
| 測量范圍（空氣，N2） | 2×10-6 … 1000 | |
| 精度 | ||
| 10-5 … 1 毫巴 | % of reading | ±15 (1) |
| 可重復(fù)性 | ||
| 10-5 … 10-1 毫巴 | % of reading | 2 |
| 10-1 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
| 熱離子發(fā)射，可選： | ||
| 選購件 1 | mbar | 1 |
| 選購件 2 | mbar | 5×10-1 |
| 選購件 3 | mbar | 2×10-1 |
| 選購件 4 | mbar | 1×10-1 |
| 選購件 5 | mbar | 5×10-2 |
| 壓力， | bar (absolute) | 2 |
| 溫度 | ||
| 運(yùn)行（環(huán)境） | °C | 0 … +50 |
| 貯存 | °C | -20 … +70 |
| 在法蘭處烘烤 | °C | 80 |
| 移除烘烤電子設(shè)備 | °C | 150 |
| 電源電壓 | 20 … 28 | |
| 輸出信號模擬 | ||
| 輸出信號 | V | 0 … +10.2 |
| 測量范圍熱陰極 | V | 1.5 … 7.5 |
| 測量范圍皮拉尼 | V | 8.5 … 9.75 |
| 電壓比壓強(qiáng)熱陰極 | volts per decade | 1 |
| 電壓與壓強(qiáng)皮拉尼 | volts per decade | 0.25 |
| 錯(cuò)誤信號熱陰極 | V | 0.3 |
| 錯(cuò)誤信號皮拉尼 | V | 0.5 |
| 最小負(fù)載電阻 | k? | 10 |
| 接口（數(shù)字）(2) | RS232C | |
| 電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 電纜長度， (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 內(nèi)部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 20 (1.2) / 30 (1.8) |
| 重量 KF / CF | g | 430 / 695 |
| 保護(hù)等級 | IP30 | |
| DeviceNet™ | ||
| 協(xié)議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 數(shù)據(jù)率開關(guān) | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 電纜長度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 電纜長度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 電纜長度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 | up to 64 nodes per segment | |
| 數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 可視通信指示器 | ||
HPG400 大氣壓至高真空真空計(jì)
