高速高精度真空納米定位平臺采用了陶瓷伺服電機(jī)驅(qū)動,非常適合要求精度達(dá)到納米或壓納米的高精度和高重復(fù)精度的應(yīng)用,例如:精密生命科學(xué)儀器、顯微成像、納米準(zhǔn)直、微納加工、光學(xué)精確定位等。
高速高精度真空納米定位平臺應(yīng)用
光電對準(zhǔn)
光電封裝
納米加工
光學(xué)測量
納米自動化
特色
10nm分辨率非接觸線性編碼系統(tǒng)
雙驅(qū)動任選:線性伺服或壓電驅(qū)動
高密度滾珠傳導(dǎo)增加穩(wěn)定性
超緊湊的單軸或雙軸納米位移臺
緊湊型封裝
可真空使用
*工作能力,大吞吐量
技術(shù)參數(shù)
行程(mm): 25和50mm(單軸或雙軸)
驅(qū)動系統(tǒng): 無鐵芯直線電機(jī)或陶瓷伺服電機(jī)
大加速度: 由負(fù)載決定
大速度: 200mm/s (無負(fù)載時(shí))
大推力: 24N
大負(fù)載: 2Kg
精度: +/-1um/25mm
TTL分辨率: 1-100nm/脈沖
構(gòu)造材料: 鋁合金主體, 灰色氧化鍍膜
重復(fù)精度: 5倍精度
上海納動納米位移技術(shù)有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*,專注于超精密納米級定位及運(yùn)動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案,滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運(yùn)動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、納米級光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。