納米定位壓電柔性鉸鏈平臺將亞納米級分辨率和導(dǎo)向精度以zui小串?dāng)_相結(jié)合。這使得其特別適用于計量學(xué)中的應(yīng)用、超高分辨率顯微鏡、干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的檢測系統(tǒng)。壓電陶瓷柔性鉸鏈平臺可用于毫秒穩(wěn)定精密定位和動態(tài)掃描,頻率高達幾百赫茲,多達六自由度。
納米定位壓電柔性鉸鏈平臺應(yīng)用領(lǐng)域
光纖對準(zhǔn)
顯微鏡應(yīng)用
雙光子聚合
納米技術(shù)和納米制造
特點:
并聯(lián)運動設(shè)計可在所有空間方向上實現(xiàn)zui高剛性
即使負載高達100克,高諧振頻率也能實現(xiàn)高動態(tài)運動
單個安裝平臺的創(chuàng)新型產(chǎn)品設(shè)計可實現(xiàn)靈活使用
市場上*的帶ID芯片功能的納米定位器
市場上行程為100微米的zui小、zui輕的NanoCube
技術(shù)參數(shù):
運動和定位 |
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主動軸 | X、Y、Z |
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開環(huán)行程,-20至120伏 | 110/軸 | 微米 | +20 % / -0 % |
閉環(huán)行程 | 100/軸 | 微米 | +20 % / -0 % |
分辨率,1秒,開環(huán)* | 0.3 | 納米 | 典型值 |
分辨率,1秒,閉環(huán)* | 0.4 | 納米 | 典型值 |
線性誤差,全行程范圍內(nèi),帶數(shù)字控制器(E-727.3CD) | 0.03 | % | 典型值 |
雙向重復(fù)精度,1秒,10%行程范圍內(nèi) | <10 | 納米 | 典型值 |
雙向重復(fù)精度,1秒,行程范圍內(nèi) | <15 | 納米 | 典型值 |