高速掃描壓電納米定位臺是采用壓電陶瓷驅(qū)動的一至三維納米級精密定位平移臺，平臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。
高速掃描壓電納米定位臺產(chǎn)品應(yīng)用：
光纖對準 • 干涉測量 • 微加工 • 微操作 • 顯微光學 • 光纖定位 • 生物技術(shù) • 半導體測試 • 納米定位
產(chǎn)品特點：
◆ 緊湊的外形尺寸：結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成；
◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)，多軸快速掃描；
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號 | PS3H30-005U | PS3H30-005U-S | 公差 | |
運動自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | |
標稱行程范圍（@0~+120V） | 5.5 μm/軸 | 5.5 μm/軸 | ±20% | |
行程范圍（@-20~+150V） | 8.0 μm/軸 | 8.0 μm/軸 | ±20% | |
分辨率 | 0.1 nm | 0.2 nm | typ. | |
重復定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
線性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | |
承載能力 | 5 N | 5 N | Max. | |
諧振頻率 | 0g | （X）1.6 KHz、（Y）1.6 KHz、（Z）2.8 KHz | （（X）1.6 KHz、（Y）1.6 KHz、（Z）2.8 KHz | ±20% |
靜電容量 | 0.68 μF/軸 | 0.68 μF/軸 | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驅(qū)動電壓范圍（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 30×30×42 mm | 30×30×42 mm | - | |
重量 | 0.2 Kg | 0.2 Kg | ±5% | |
本體材質(zhì)2 | 鋁（B） | 鋁（B） | -
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上海納動納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、納米級光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。
