單軸壓電納米定位臺內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,確保了平臺具有的運(yùn)動控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。平臺為無磁材質(zhì),使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。平臺特點(diǎn)體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。
單軸壓電納米定位臺主要應(yīng)用:
航天航空
顯微與成像
醫(yī)療技術(shù)
納米技術(shù)
數(shù)據(jù)存儲技術(shù)
圖像處理
測量/檢測
生物科學(xué)與生命科學(xué)
集成光學(xué)
激光加工與激光光刻
半導(dǎo)體技術(shù)
超精密加工
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng),有效消除側(cè)向運(yùn)動分量;
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。
技術(shù)參數(shù):
上海納動納米位移技術(shù)有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*,專注于超精密納米級定位及運(yùn)動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案,滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運(yùn)動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、納米級光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。