1~3維壓電平臺(tái)/平移臺(tái)具有非常快速和緊湊的傾斜裝置,它提供一個(gè)范圍2.5 mrad傾斜角度及亞毫秒的響應(yīng)時(shí)間。可配備配有一個(gè)15 x 4光學(xué)鏡片。
1~3維壓電平臺(tái)/平移臺(tái)產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);
2.具有開(kāi)環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號(hào);
??3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝,嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;
4.采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu);
5.采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。
技術(shù)參數(shù):
軸向: 3
行程: 9-400 μm
分辨率: 0.02-0.8 nm
共振頻率: 140-2200Hz
推力: 9-1800N
拉力: 1-180N
應(yīng)用實(shí)例:
AFM顯微鏡,激光校準(zhǔn),低溫操作應(yīng)用,微型加工技術(shù),半導(dǎo)體,掃描應(yīng)用
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司(簡(jiǎn)稱“納動(dòng)納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測(cè)量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*,專注于超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開(kāi)發(fā),并致力于創(chuàng)新開(kāi)發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測(cè)量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案,滿足于國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動(dòng)器、納米級(jí)精密定位臺(tái)/掃描臺(tái)、壓電納米定位平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)、納米級(jí)光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級(jí)顯微掃描平臺(tái)、納米級(jí)物鏡聚焦/掃描器、納米級(jí)紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動(dòng)器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺(tái)、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器、高精度微位移測(cè)量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。