X軸壓電平移臺行程80m初的設(shè)計是為了滿足超快速度和超精密的應(yīng)用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動，以柔性鉸鏈為運動副，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點。
u X軸壓電平移臺行程80m主要特點
- 亞納米的分辨率
- 高的帶寬
- 高速響應(yīng)
- 高的可靠性
- 結(jié)構(gòu)緊湊
- 壓電陶瓷驅(qū)動
- 柔性鉸鏈設(shè)計
- 電容位移傳感器閉環(huán)反饋
u 主要應(yīng)用
l 納米刻蝕
l 干涉測量
l 高速聚焦
l 自適應(yīng)光學(xué)
l 超分辨顯微鏡
l 粒子追蹤
選型：
| 產(chǎn)品型號 | ESLP50-1 | ESLP100-1 | ESLP150-1 |
| 行程 | 50 | 100 | 150 |
| zui大推力（N） | 16 | ||
| zui大速度（mm/s） | 200 | ||
| zui小步長（nm） | 50 | ||
| 光柵分辨率（um） | 0.5(1um和50nm)光柵可選 | ||
| 重復(fù)定位精度（um） | <2um | ||
| zui大負載（kg） | 3.5 | 4.5 | 5 |
| 結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 鋁合金/不銹鋼 | ||
上海納動納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動納米位移技術(shù)有限公司本著“創(chuàng)新，立足，精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標(biāo)，力求*國內(nèi)技術(shù)空白，打破國外對中國的技術(shù)壁壘和國外產(chǎn)品壟斷中國市場的局面，為中國智能裝備產(chǎn)業(yè)和科研領(lǐng)域提供*運動和測控解決方案提供關(guān)鍵技術(shù)和打造堅實基礎(chǔ)。
