一維（X軸）壓電平移臺采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導向使其具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點，采用硅位移傳感器，相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，硅傳感器使平移臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。精度可以達到亞納米，底噪低至10pm。
一維（X軸）壓電平移臺選型：
產品型號 | ESLP50-1 | ESLP100-1 | ESLP150-1 |
行程 | 50 | 100 | 150 |
zui大推力（N） | 16 | ||
zui大速度（mm/s） | 200 | ||
zui小步長（nm） | 50 | ||
光柵分辨率（um） | 0.5(1um和50nm)光柵可選 | ||
重復定位精度（um） | <2um | ||
zui大負載（kg） | 3.5 | 4.5 | 5 |
結構材質 | 鋁合金/不銹鋼 | ||
u 產品特點
l 高分辨率（0.01nm）
l 大行程1500mm
l 高速度，自振頻率可達7000Hz
l 采用硅傳感技術
l 超低底噪
l 柔性鉸鏈導向
u 主要應用
l 納米刻蝕
l 干涉測量
l 高速聚焦
l 自適應光學
l 超分辨顯微鏡
l 粒子追蹤
上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著“創(chuàng)新，立足，精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標，力求*國內技術空白，打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面，為中國智能裝備產業(yè)和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎。
