二維壓電平移臺(tái)采用壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)和整體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),避免了傳統(tǒng)伺服電機(jī)或步進(jìn)電機(jī)因結(jié)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)方式造成的回程誤差。平臺(tái)采用了光柵及專業(yè)的運(yùn)動(dòng)控制卡進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋及運(yùn)動(dòng)控制,確保了該平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)特性及定位精度。
二維壓電平移臺(tái)主要應(yīng)用
l 納米刻蝕
l 超分辨顯微鏡
l 共聚焦顯微鏡
l 自適應(yīng)光學(xué)
l 粒子追蹤
產(chǎn)品特點(diǎn):
1.直驅(qū)方式,無空回誤差
2.可在斷電狀態(tài)下長時(shí)間保持在同一位置
3.全閉環(huán)光柵反饋,重復(fù)定位精度優(yōu)于±0.5um(有0.5um和0.05um分辨率兩個(gè)系列的標(biāo)準(zhǔn)品)
4.靈活的平臺(tái)控制程序,可滿足多種運(yùn)動(dòng)需求
選型表:
產(chǎn)品型號(hào) | ESLP50-2 | ESLP100-2 | ESLP150-2 |
行程 | 50 | 100 | 150 |
zui大推力(N) | 16 | ||
zui大速度(mm/S) | 200 | ||
zui小步長(nm) | 50 | ||
光柵分辨率(um) | 0.5(1um和50nm)光柵可選 | ||
重復(fù)定位精度(um) | <±2um | ||
zui大負(fù)載(kg) | 3.5 | 4.5 | 5 |
結(jié)構(gòu)材質(zhì) | 鋁合金/不銹鋼 |
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司(簡稱“納動(dòng)納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測(cè)量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*,專注于超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測(cè)量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案,滿足于國內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司本著“創(chuàng)新,立足,精益打造納米定位與運(yùn)動(dòng)控制中國制造的品牌“的目標(biāo),力求*國內(nèi)技術(shù)空白,打破國外對(duì)中國的技術(shù)壁壘和國外產(chǎn)品壟斷中國市場(chǎng)的局面,為中國智能裝備產(chǎn)業(yè)和科研領(lǐng)域提供*運(yùn)動(dòng)和測(cè)控解決方案提供關(guān)鍵技術(shù)和打造堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。