MATRIX SYSTEM 10二手刻蝕機(jī),反應(yīng)離子刻蝕RIE、Plasma asher雙模式,可對(duì)6-8英寸的晶圓進(jìn)行蝕刻工藝加工處理。
制造商:matrix
型號(hào):system 10
類別:etcher/asher
晶圓尺寸:6"-8"
設(shè)備詳細(xì)信息:
反應(yīng)離子蝕刻器 (RIE) / 等離子灰化器,6"-8"
真空泵組
冷卻器和手動(dòng)
閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)
蝶形壓力控制器
分散氣室
引腳向上/向下處理
相位幅度射頻匹配調(diào)諧器