【儀表網(wǎng) 儀表上游】據(jù)媒體報道，新松機器人宣稱擬募資18.03億元主要用于建設(shè)半導體領(lǐng)域半導體設(shè)備及自動化項目，用于IC真空機械手及集束型設(shè)備項目、半導體自動物料搬運系統(tǒng)項目、半導體物料管理控制系統(tǒng)項目以及補充流動資金。

 

　　作為國內(nèi)僅有的一家真空機械手的供應(yīng)商，去年機器人真空機械手已批量應(yīng)用于北方華創(chuàng)(002371)、中科院微電子研究所等企業(yè)和機構(gòu)，有望在國內(nèi)全面推廣。
 

　　新松機器人成立于2000年，隸屬中國科學院，是一家從事機器人產(chǎn)業(yè)化和實現(xiàn)機器人出口的企業(yè)。新松機器人產(chǎn)品線齊全，涵蓋工業(yè)機器人、潔凈機器人、移動機器人、特種機器人及智能服務(wù)機器人五大系列。
 

　　機器人進軍半導體行業(yè)是一種挑戰(zhàn)
 

　　半導體行業(yè)包括了眾多領(lǐng)域，在這些領(lǐng)域當中又有著很多復雜的工序，比如前期的晶體制造、中期的封裝集成，還有后期的組裝包裝、運輸?shù)鹊?。機器人進軍半導體行業(yè)既是一種挑戰(zhàn)也是一種趨勢，機器人本身需要具有易使用、性能靈活輕便，不僅要滿足無塵空間的等級要求，還要小心易碎的產(chǎn)品，對極為細微的器件需要高度精準地定位、放置和組裝。
 

　　半導體行業(yè)對工業(yè)機器人的要求十分嚴格，在真空環(huán)境下，要保證機器人的潔凈度，因為半導體產(chǎn)品的特殊性，還要求機器人防震，防抖動，靜音生產(chǎn)，能夠有精準到5mm的重復定位等等。
 

　　進軍半導體市場，抓住產(chǎn)業(yè)鏈遷移機遇
 

　　隨著半導體產(chǎn)業(yè)向中國大陸遷移，英特爾、三星等大廠陸續(xù)在我國大陸地區(qū)投資建廠，大陸對半導體領(lǐng)域自動化設(shè)備需求提升。
 

　　基于此，新松開始進軍半導體裝備領(lǐng)域：2009年、2011年新松開始承擔兩大國家集成電路“02專項“項目，加大了對半導體設(shè)備的研發(fā)；2018年，新松機器人開始設(shè)立半導體裝備BG，主要面向以芯片制造，面板制造為代表的泛半導體領(lǐng)域，提供設(shè)備與自動化解決方案。目前，新松已經(jīng)成功研發(fā)了國內(nèi)首臺具有獨立知識產(chǎn)權(quán)的新型雙臂大氣機械手，并且通過了終端用戶華創(chuàng)、中微等客戶驗證。
 

　　除了在產(chǎn)品開發(fā)上加大力度，新松在資本層面也采取了相應(yīng)動作。2018年1月，新松以約6.4億元人民幣收購韓國半導體設(shè)備企業(yè)新盛旗下公司80%的股權(quán)。不難看出，通過這些舉措，新松希望在下一個行業(yè)爆發(fā)點來臨前搶占先機。
 

　　擬募資18億新建半導體設(shè)備
 

　　新松此次擬向特定對象發(fā)行*募集資金總額不超過18.03億元用于IC真空機械手及集束型設(shè)備項目、半導體自動物料搬運系統(tǒng)項目、半導體物料管理控制系統(tǒng)項目以及補充流動資金。
 

　　此前新松已研制了系列化潔凈真空機器人產(chǎn)品，包括大氣機械手系列產(chǎn)品(潔凈度達到 Class1)、集成電路裝備真空機械手系列產(chǎn)品(真空度達到高 1×10-6 Pa)。真空直驅(qū)機器人打破國外壟斷，可以實現(xiàn)直接替代；自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)系統(tǒng)設(shè)備主要包括潔凈存儲系統(tǒng)(Stocker)、 潔凈軌道系統(tǒng)、空中無人搬運車(OHT)等，公示可以為半導體工廠提供整套自動物料搬運系統(tǒng)；而新松承接的廣州超視堺Mask搬送系統(tǒng)項目，其中也包含ACS系統(tǒng)(類似MCS的系統(tǒng)，規(guī)模要比MCS系統(tǒng)規(guī)模小)的子訂單，具有先天優(yōu)勢。
 

　　上述三個項目建成后，年預(yù)計可實現(xiàn)年均營業(yè)收入約10.05億元、11.90億元、1.8億元，合計達到23.75億元。而去年公司全年營收27.45億元，此次擴產(chǎn)項目若達成目標將增加營收85%。
 

　　機器人將半導體裝備業(yè)務(wù)確定為三大業(yè)務(wù)板塊之一，2018年5月，公司集中整合資源成立半導體裝備事業(yè)部，完善在集成電路設(shè)備自動化與自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)產(chǎn)業(yè)的布局，潔凈真空機器人、潔凈自動化裝備、自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)是公司自主研發(fā)的面向集成電路行業(yè)的成套裝備，半導體物料管理控制系統(tǒng)(MCS)產(chǎn)業(yè)化是公司拓展的新業(yè)務(wù)。
 

　　應(yīng)用半導體，新松已走在前列
 

　　目前新松研發(fā)的真空機械手已批量應(yīng)用于北方華創(chuàng)、中科院微電子研究所等企業(yè)。集束型設(shè)備行業(yè)應(yīng)用涵蓋半導體 CMP 清洗設(shè)備、半導體刻蝕設(shè)備、半導體涂膠設(shè)備等，且實現(xiàn)小批量示范應(yīng)用；半導體自動搬運系統(tǒng)(AMHS)已經(jīng)實現(xiàn)在上海集成電路研發(fā)中心生產(chǎn)線上的應(yīng)用，并成功應(yīng)用于Sandisk、賽意法等半導體芯片加工廠，面向面板制造廠開發(fā)的掩模版自動物料搬運系統(tǒng)，已經(jīng)在華星光電T1、T7工廠及夏普廣州廠實現(xiàn)成熟應(yīng)用。
 

　　2012年以來，國內(nèi)半導體設(shè)備需求迅猛增長，中國是第二大半導體設(shè)備市場，2018年達到131.10億美元，但國產(chǎn)設(shè)備自給率很低，僅為13%左右。未來即便核心半導體設(shè)備依然依靠進口，半導體設(shè)備國產(chǎn)化空間仍然巨大。并且半導體工廠自動化對工廠的稼動率非常重要，該市場的年采購額在20億美金左右，由于國外對中國半導體產(chǎn)業(yè)的*，國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)對于自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)需求迫切。
 

　　而新松是國內(nèi)一家真空機械手的供應(yīng)商，而新松自主研發(fā)的面向半導體行業(yè)的裝備自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)已經(jīng)形成了獨立產(chǎn)品線，可以逐步實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。
 

　　潔凈(真空)機器人及半導體裝備作為新松公司的核心業(yè)務(wù)之一，現(xiàn)已形成大氣機械手、真空機械手、EFEM、真空平臺、STOCKER和AMHS系統(tǒng)多個產(chǎn)品線。潔凈產(chǎn)品客戶現(xiàn)已遍及大陸以及中國臺灣地區(qū)。
 

　　目前，新松潔凈機器人已徹底打破國外同類企業(yè)在半導體領(lǐng)域的壟斷局面，擁有國內(nèi)市場50%以上份額。
 

　　新松復合機器人基于移動機器人和工業(yè)機器人系統(tǒng)的創(chuàng)新融合，綜合視覺補償、力覺控制、碰撞保護和主動導航等技術(shù)，可快速布局自動化工廠，適應(yīng)高柔性化生產(chǎn)模式，主要應(yīng)用于半導體封裝測試環(huán)節(jié)，可滿足FOUP，CST，MGZ在各機臺間的自動運輸，終端定位精度可達±0.05mm，CLASS 100潔凈度，能為半導體生產(chǎn)應(yīng)用提供系統(tǒng)解決方案。
 

　　原標題：募資18億！國產(chǎn)機器人加碼半導體領(lǐng)域自動化