【儀表網(wǎng) 行業(yè)標準】近日，國家標準計劃《鎳鉑靶材合金化學分析方法 第1部分:鉑含量的測定 電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法》編制完成并征求意見，時間截止到2023年6月17日。主要起草單位為貴研鉑業(yè)股份有限公司、貴研檢測科技(云南)有限公司、北京有色金屬與稀土應用研究所有限公司等。
根據(jù)YS/T 937-2013鎳鉑靶材產(chǎn)品標準中 NiPt3、NiPt5、NiPt10、NiPt15Pt含量的準確、快速測定要求，化學法流程長，從準確、快速考慮，電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜無疑是首選。
鎳鉑合金靶材廣泛應用于半導體工業(yè)中,成為保證半導體器件性能和發(fā)展半導體技術(shù)的關(guān)鍵材料。鎳與鉑同屬過渡族金屬,其中鎳表現(xiàn)為鐵磁性，鉑表現(xiàn)為順磁性，因此隨鉑含量的增加，Ni-Pt合金磁性減弱，由鐵磁性向順磁性轉(zhuǎn)變，因鉑含量的增加能夠提高薄膜的高溫穩(wěn)定性，并且改善界面形貌，減少侵占缺陷。
所以不同鉑含量的鎳鉑合金靶材在半導體制造工藝中發(fā)揮了重要作用，因此，材料研究和生產(chǎn)經(jīng)營人員都需要更快速、更準確的掌握其中鉑元素的含量。鉑含量結(jié)果的準確和分析方法的標準化是保證產(chǎn)品質(zhì)量，指導公平、公正交易，維護最佳秩序，促進最佳共同效益的必要條件之一，故制定該標準是很有必要的。
經(jīng)過資料搜索，YS/T 937-2013鎳鉑靶材產(chǎn)品標準，附錄A中1%～15%的鉑含量也采用ICP-AES法測定，但此方法無內(nèi)標控制，鉑含量大于5%以上采用稀釋后測定，稀釋過程容易引入誤差，而且方法中沒有重復性及再現(xiàn)性結(jié)果。
本文采用Y為內(nèi)標測定控制，無稀釋過程，保證測定的準確性，且增加重復性及再現(xiàn)性結(jié)果計算。保證了方法的適用及準確。
本標準的制定，對考察物料平衡，公平、公正交易，維護行業(yè)最佳秩序，促進最佳共同效益和推廣應用具有重要意義。同時，也為產(chǎn)品質(zhì)量保證提供有力支撐。
儀器設(shè)備
電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀(工作參數(shù)見附錄A)。在儀器最佳工作條件下凡是能達到下列指標者均可使用:
——光源:氬等離子體光源，發(fā)生器最大輸出功率不小于1.30kW。
——分辨率:20Onm 時光學分辨率不大于0.010nm; 400nm時光學分辨率不大于0.020nm。
——儀器穩(wěn)定性:儀器1h內(nèi)漂移不大于2.0%。
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