PK1L100-150U/300U壓電定位系統(tǒng)專為承載能力比較強(qiáng)的應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。該系列標(biāo)準(zhǔn)直線平臺(tái)的可組合成1至2軸配置(如XY)。系統(tǒng)可提供標(biāo)稱行程為約150μm,采用特殊機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)zui大行程約為300μm,它們非常適合用于定位任務(wù),如光學(xué)路徑長(zhǎng)度校正干涉,樣品定位、顯微鏡或掃描應(yīng)用。配備壓電陶瓷封裝的壓電驅(qū)動(dòng)器和零摩擦彎曲導(dǎo)向系統(tǒng),具有納米精度和*的可靠性。
一維X軸 PK1L100-150U系列壓電納米定位臺(tái),內(nèi)置高性能壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,采用SGS傳感器閉環(huán),實(shí)現(xiàn)精密高速定位運(yùn)動(dòng),產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成,采用分離式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),減小了兩自由度之間的耦合,采用高可靠性的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),具有較高的重復(fù)定位精度和納米級(jí)位移分辨率,機(jī)體材料分鋁合金,嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu); 采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。平臺(tái)安裝和固定通過頂部與底部進(jìn)行操作。底部四個(gè)M4通孔用于固定的平臺(tái)本體,對(duì)于產(chǎn)品在靜態(tài)或動(dòng)態(tài)應(yīng)用是非常重要的。在頂部板上安裝有四個(gè)M3螺紋孔,用于安裝(負(fù)載)外部元件使用。