PK1L100-150U/300U壓電定位系統(tǒng)專為承載能力比較強的應(yīng)用而設(shè)計的。該系列標(biāo)準(zhǔn)直線平臺的可組合成1至2軸配置(如XY)。系統(tǒng)可提供標(biāo)稱行程為約150μm,采用特殊機構(gòu)設(shè)計zui大行程約為300μm,它們非常適合用于定位任務(wù),如光學(xué)路徑長度校正干涉,樣品定位、顯微鏡或掃描應(yīng)用。配備壓電陶瓷封裝的壓電驅(qū)動器和零摩擦彎曲導(dǎo)向系統(tǒng),具有納米精度和*的可靠性。
一維X軸 PK1L100-150U系列壓電納米定位臺,內(nèi)置高性能壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,采用SGS傳感器閉環(huán),實現(xiàn)精密高速定位運動,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成,采用分離式結(jié)構(gòu)設(shè)計,減小了兩自由度之間的耦合,采用高可靠性的壓電陶瓷驅(qū)動,具有較高的重復(fù)定位精度和納米級位移分辨率,機體材料分鋁合金,嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu); 采用*的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。平臺安裝和固定通過頂部與底部進(jìn)行操作。底部四個M4通孔用于固定的平臺本體,對于產(chǎn)品在靜態(tài)或動態(tài)應(yīng)用是非常重要的。在頂部板上安裝有四個M3螺紋孔,用于安裝(負(fù)載)外部元件使用。