本產(chǎn)品采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級物鏡掃描臺,掃描臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),確保了掃描臺的運動精度。掃描臺內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。分立的螺紋適配器,可適配多種型號的物鏡。產(chǎn)品具有開環(huán)與閉環(huán)兩種版本。閉環(huán)采用應(yīng)變式傳感器(SGS),具有分辨率高、響應(yīng)快,給定目標(biāo)值到適當(dāng)?shù)奈恢?,通過對傳動納米測量精度位置反饋信號至控制器。平行四邊形的設(shè)計保證了較高的平行運動不影響光路。通過使用一個集成的測量系統(tǒng),可以保證定位的可重復(fù)性。包括集成的預(yù)加載的致動器的設(shè)計提供了高的諧振頻率和高的平行運動。由于該系列快速掃描的應(yīng)用,可以用zui短的時間解決精確實現(xiàn)的*功能。 納米位移臺是一種機(jī)械裝置,內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷,由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運動。納動設(shè)計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈技術(shù)將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內(nèi)置高精密傳感器,閉環(huán)控制時,傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下,可以實現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。 物鏡側(cè)螺紋M直徑(目標(biāo)適配器【選配】) 型號 描述 M25 X 0.75 目標(biāo)適配器 M26 X 1/36" 目標(biāo)適配器 M26 X 0.75 目標(biāo)適配器 M27 X 0.75 目標(biāo)適配器 W0.8X1/36" 目標(biāo)適配器