超精密加工壓電平臺是以壓電陶瓷做為基礎(chǔ)元件驅(qū)動的壓電平移臺，X 軸，XY 軸，XYZ 軸多維壓電平移臺，驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)式以及機機構(gòu)放大式兩種驅(qū)動形式。相同驅(qū)動電壓下，機構(gòu)放大平臺的位移是直驅(qū)平臺位移的幾倍至幾十倍；直驅(qū)平臺的響應速度要比機構(gòu)放大平臺的速度快。壓電平移臺的運動行程范圍zui大可達 300μm，且它具有納米級分辨率以及毫秒級的響應時間。

超精密加工壓電平臺應用
      • 光纖端面檢測           • 光纖對接             • 硬盤測試            • 電化學加工            • 3D錫膏檢測

超精密加工壓電平臺產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴格保證構(gòu)結(jié)精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu)；
5.采用*的表面處理工藝，提高了適應不同工作環(huán)境的能力；
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺。

超精密加工壓電平臺產(chǎn)品參數(shù)
上海納動納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。

上海納動納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、納米級光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。

壓電Tip / Tilt平臺內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結(jié)構(gòu)，補償量小，確保了擺鏡的運動精度和超高的穩(wěn)定性。

平臺采用緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計且內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

緊湊型設(shè)計，可更好的集成于光學系統(tǒng)中。內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運動。納動設(shè)計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈技術(shù)將運動裝置連接到固定基座上。

納米位移臺內(nèi)置高精密傳感器，閉環(huán)控制時，傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下，可以實現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。