超精密加工壓電平臺是以壓電陶瓷做為基礎元件驅動的壓電平移臺，X 軸，XY 軸，XYZ 軸多維壓電平移臺，驅動形式包含壓電陶瓷直驅式以及機機構放大式兩種驅動形式。相同驅動電壓下，機構放大平臺的位移是直驅平臺位移的幾倍至幾十倍；直驅平臺的響應速度要比機構放大平臺的速度快。壓電平移臺的運動行程范圍zui大可達 300μm，且它具有納米級分辨率以及毫秒級的響應時間。

超精密加工壓電平臺應用
      • 光纖端面檢測           • 光纖對接             • 硬盤測試            • 電化學加工            • 3D錫膏檢測

超精密加工壓電平臺產品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
3.采用數控、線切割等加工工藝，嚴格保證構結精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現代設計方法設計微動結構；
5.采用*的表面處理工藝，提高了適應不同工作環(huán)境的能力；
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺。

超精密加工壓電平臺產品參數
上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案，滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。

上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發(fā)的產品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉臺、納米級光束偏轉鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產品。

壓電Tip / Tilt平臺內部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構，補償量小，確保了擺鏡的運動精度和超高的穩(wěn)定性。

平臺采用緊湊的差分并聯(lián)結構設計且內置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

緊湊型設計，可更好的集成于光學系統(tǒng)中。內部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產生單軸或者多軸的運動。納動設計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈技術將運動裝置連接到固定基座上。

納米位移臺內置高精密傳感器，閉環(huán)控制時，傳感器技術在保證線性度的前提下，可以實現納米級別、亞納米級別的分辨率。