美國MKS真空計(jì) MKS 903系列倒磁控管傳感器/冷陰極真空計(jì)
采用倒置磁控管的設(shè)計(jì)原則,HPS®系列903可以在多操作壓力低于傳統(tǒng)的冷陰極傳感器,低至10-10乇。一個(gè)*的設(shè)計(jì)特點(diǎn)是離子收集第二饋通,確保準(zhǔn)確的讀數(shù)結(jié)果。自從903沒有燈絲,它是耐振動(dòng)的損傷是不受空氣突然涌入。其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)能有效地工作在惡劣的環(huán)境中提供快速,可靠,穩(wěn)定的壓力測量。標(biāo)準(zhǔn)903有一個(gè)繼電器設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)的過程控制,可以設(shè)置到哪里在設(shè)定點(diǎn)范圍。設(shè)定點(diǎn)激活狀態(tài)顯示三個(gè)LED指示器。功率高電壓狀態(tài)也表明。高電壓激活的功能是一個(gè)方便的方式為你關(guān)閉電源,903局部10-2 Torr無需關(guān)閉整個(gè)系統(tǒng)。停用高電壓高于10-2乇的壓力減少污染的傳感器的影響。由于不同的電離電位不同的氣體,903是用于定位中一個(gè)簡單的解決方案在真空系統(tǒng)的精細(xì)泄漏。它補(bǔ)充了質(zhì)譜檢漏儀,這是更在發(fā)現(xiàn)較小的泄漏效率。
美國MKS真空計(jì) MKS 903系列倒磁控管傳感器/冷陰極真空計(jì)優(yōu)勢:
•寬的壓力測量范圍從3×10-10~5×10-3乇的真空應(yīng)用
• Integrated electronics for space and cost
•集成的空間和成本的電子儲(chǔ)蓄
• Linearized analog output
•線性模擬輸出
• Isolated ion collector increases sensor’s
•孤立的離子收集器增加傳感器的抗污染的影響
• High voltage can be deactivated at higher
•高電壓可以停用高為了減少潛在的壓力傳感器污染
• One set point with LED status indicator is
•一個(gè)設(shè)定點(diǎn)與LED狀態(tài)指示器用于過程控制的標(biāo)準(zhǔn)
• Sensor is interchangeable without calibration
•傳感器是可以互換的無標(biāo)定
• No filament to burn out for low maintenance
•沒有燈絲燒壞的低維護(hù)
• Gas-type sensitive
•氣體敏感型
• CE marked
•CE標(biāo)志
美國MKS真空計(jì) MKS 903系列倒磁控管傳感器/冷陰極真空計(jì)應(yīng)用:
具有廣泛的3x10-10測量范圍5x10-3 Torr,,HPS®903系列是適合在高真空應(yīng)用,包括壓力高真空室中測量控制或與它的高真空系統(tǒng)啟動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)的繼電器設(shè)置。它是有用的作為一個(gè)完整的壓力的測量與控制系統(tǒng)或在更復(fù)雜的壓力控制模塊環(huán)境,使得它特別有吸引力的.OEM設(shè)備制造商。,903系列是適合于工業(yè),過程,與分析應(yīng)用,如高能量、物理,激光的產(chǎn)生,離子注入,質(zhì)量, PVD.法,或PVD。
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