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真空測量系統(tǒng)MKS

來源：成都四洋科技有限公司   2014年12月12日 15:09  

本文主要介紹MKS控制器與真空計(jì)配套使用，讓您能根據(jù)項(xiàng)目需要快速選擇合適真空計(jì)與真空計(jì)控制器。

真空計(jì)控制器：

PDR900真空計(jì)控制器

  1. 系列真空計(jì)控制器，PDR900電源和讀出單元是一個(gè)獨(dú)立的、單通道控制器，用于900系列數(shù)字真空傳感器。該控制器為真空計(jì)的控制設(shè)定了一個(gè)新的標(biāo)準(zhǔn)，既可作為一個(gè)獨(dú)立電源讀出顯示，也可作為系統(tǒng)集成傳感器OEM應(yīng)用中的構(gòu)成、校準(zhǔn)和診斷單元。
  1. 主要參數(shù)：

 

  •  

1.0 X 10-10 to 1,500 Torr（根據(jù)傳感器）

  •  
  • 、Mbar、Pa
  •  

5° to 40°C (41° to 104°F)

  •  

100-240 VAC, 50-60 Hz, 25 W

  •  

RS232 / RS485或模擬輸出

  •  

901P, 902, 909AR, 925, 925C, 910, 971, 972, 973, 974, 979, 999（909,,909A,903暫不兼容）

  1. 訂購指南：

零件訂購號：               描述：

PDR900-12-US               PDR900 單通道控制器，RS232/RS485,US

PDR900-12-EU               PDR900 單通道控制器，RS232/RS485,EU

PDR900-12-UK               PDR900 單通道控制器，RS232/RS485,UK

PDR900-12-DK               PDR900 單通道控制器，RS232/RS485,DK

配件：

100013613                  電纜,PDR900到902/925C，9針,3m,RS232

100013615                  電纜,PDR900到902/925C，9針,7.6m,RS232

100013664                  電纜,PDR900到902/925C，9針,3m,RS485

100013666                  電纜,PDR900到902/925C，9針,7.6m,RS485

100013620                  電纜,PDR900到900系列真空計(jì)，15針,3m,RS232

100013622                  電纜,PDR900到900系列真空計(jì)，15針,7.6m,RS232

100013671                  電纜,PDR900到900系列真空計(jì)，15針,3m,RS485

100013672                  電纜,PDR900到900系列真空計(jì)，15針,7.6m,RS485

100014510                  NW16KF帶4微米和Vition密封圈的中心密封環(huán)

100014515                  NW25KF帶4微米和Vition密封圈的中心密封環(huán)

100014510                  NW40KF帶4微米和Vition密封圈的中心密封環(huán)

100013638                  模擬輸出DIN8P

100010757                   設(shè)定點(diǎn)連接頭配件

100013690                   裝配組件

100013695                   操作手冊

937B系列真空計(jì)控制器

  1. 數(shù)字集成真空計(jì)控制器可以同時(shí)控制操作6個(gè)真空計(jì)。這種控制器能支持非常廣泛的真空傳感器，包括冷陰極、熱陰極、標(biāo)準(zhǔn)Pirani、對流Pirani、薄膜規(guī)以及Piezo傳感器，量程范圍可以從高真空到高于大氣壓。
  2. 和RS485集成在控制板中，Profibus通訊是可選的。
  3. 系列是模塊化的設(shè)計(jì)，能支持現(xiàn)場升級和重新配置。
  4. 系列訂購指南：

示例：937B-US-NANANA-NA是一個(gè)控制器基本包括RS-232/RS-485通訊板和美國供電標(biāo)準(zhǔn)。

943系列真空測量計(jì)

943系列冷陰極真空測量系統(tǒng)的真空測量范圍是10-10至10-2Torr，它使用了一個(gè)高亮度的LED顯示器。它有兩種標(biāo)準(zhǔn)的模擬輸出模式，可用于工藝中壓力的遙控。內(nèi)置的轉(zhuǎn)換器所提供的輸出可以在整個(gè)運(yùn)行范圍內(nèi)將電壓轉(zhuǎn)變成壓力。通過再后面板上的15針互連接器配件可以獲得一個(gè)快速響應(yīng)的緩沖模擬輸出信號。

采用了反向磁控管設(shè)計(jì)的HPS冷陰極傳感器、I-Mag和421的工作壓力遠(yuǎn)低于傳統(tǒng)的penning冷陰極傳感器。在配上合適的傳感器后，其測量壓力的zui低值為10-11Torr，這樣就增加了它的量程范圍，使HPS冷陰極傳感器成為超高真空應(yīng)用中的理想選擇。

  1. 系列主要參數(shù)：

 

  •  

1.0 x 10-10 to 1.0 x 10-2Torr

  •  
  • 、Mbar、Pa
  •  

5° to 40°C (41° to 104°F)

  •  

220 to 240 VAC, 50/60 Hz, 9 W

100 to 120 VAC, 50/60 Hz, 9 W

  •  

I-Mag 423&421

  1. 系列訂購指南：

943系列數(shù)字型冷陰極控制器

943-A-120V50-TR-PC    943 控制器, Torr 讀數(shù), 50 Hz, 100-120V

943-A-120V60-TR-PC    943 控制器, Torr 讀數(shù), 60 Hz, 100-120V

943-A-220V50-TR-PC    943 控制器, Torr 讀數(shù), 50 Hz, 220-240V

943-A-220V60-TR-PC    943 控制器, Torr 讀數(shù), 60 Hz, 220-240V

943-A-120V50-MB-PC    943 控制器, mbar 讀數(shù), 50 Hz, 100-120V

943-A-120V60-MB-PC    943 控制器, mbar 讀數(shù), 60 Hz, 100-120V

943-A-220V50-MB-PC    943 控制器, mbar 讀數(shù), 50 Hz, 220-240V

943-A-220V60-MB-PC    943 控制器, mbar 讀數(shù), 60 Hz, 220-240V

943-A-120V50-PA-PC    943 控制器, Pa 讀數(shù), 50 Hz, 100-120V

943-A-120V60-PA-PC    943 控制器, Pa 讀數(shù), 60 Hz, 100-120V

943-A-220V50-PA-PC    943 控制器, Pa 讀數(shù), 50 Hz, 220-240V

943-A-220V60-PA-PC    943 控制器, Pa 讀數(shù), 60 Hz, 220-240V

423 I-Mag冷陰極傳感器：

104230004      423 I-Mag 冷陰極傳感器, NW 25 KF

104230001      423 I-Mag 冷陰極傳感器, NW 40 KF

104230002      423 I-Mag 冷陰極傳感器, 23/4” CF

104230003      423 I-Mag 冷陰極傳感器, 1” Tube

421 冷陰極傳感器：

104210004      421 冷陰極傳感器, NW 25 KF

104210001      421 冷陰極傳感器, NW 40 KF

104210002      421 冷陰極傳感器, 23/4” CF

104210003      421 冷陰極傳感器, 1” Tube

104210005      421 冷陰極傳感器, 8 VCR-F1

423 I-Mag冷陰極傳感器線纜：

100002505      2 ft. (0.6 m)

100007873      10 ft. (3.0 m)

100007874      25 ft. (7.6 m)

100002395      50 ft. (15 m)

421 冷陰極傳感器線纜：

100006171      10 ft. (3.0 m)

100006172      25 ft. (7.6 m)

100006173      50 ft. (15.2 m)

100006174      100 ft. (30.5 m)

附件：

103150001      電源線,115 VAC

100005087      943系列輸出連接組件

100005021      固定支架

100006734      421系列冷陰極管重組組件 (6螺栓，1/4-28)

100002353      423 I-Mag 冷陰極傳感器重組組件

100005279      421系列組裝扳手

100006828      943系列使用手冊

945系列Pirani真空測量計(jì)

  1. 系列主要參數(shù)：

 

  •  

1.0 x 10-4 to 100 Torr

  •  
  • 、Mbar、Pa、micron
  •  

5° to 40°C (41° to 104°F)

  •  

90 to 130 VAC, 50/60 Hz, 9 W

210 to 250 VAC, 50/60 Hz, 9 W

  •  
  1.  

945系列訂購指南：

945系列數(shù)字Pirani控制器：

945-A-120-TR     945系列Pirani控制器, 120 Volts, Torr 讀數(shù)

945-A-220-TR     945系列Pirani控制器, 220 Volts, Torr 讀數(shù)

945-A-120-MC     945系列Pirani控制器, 120 Volts, micron 讀數(shù)

945-A-220-MC     945系列Pirani控制器, 220 Volts, micron 讀數(shù)

945-A-120-PA     945系列Pirani控制器, 120 Volts, Pascal 讀數(shù)

945-A-220-PA     945系列Pirani控制器, 220 Volts, Pascal 讀數(shù)

945-A-120-MB     945系列Pirani控制器, 120 Volts, mbar 讀數(shù)

945-A-220-MB     945系列Pirani控制器, 220 Volts, mbar 讀數(shù)

345系列屏蔽型Pirani傳感器—滿足CE要求：

103450210        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103450211        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 1/8”NPT-M

103450212        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 8 VCR-F 1

103450213        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, Mini 1-1/3'' CF

103450214        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 2-3/4 CF

103450215        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103450216        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 15mm 管道

103450218        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 18mm 管道

345系列傳感器與945系列控制器互連的電纜：

103170006SH 10 ft. (3.0 m)

103170007SH 25 ft. (7.6 m)

103170008SH 50 ft. (15.2 m)

103170009SH 客戶定制 (zui長 500 ft.)

附件：

103150001         電源線, 115 VAC

100008103         945系列輸出互連套件

100005021         安裝硬件套件

109450020         945系列用戶手冊

100009993         Octal到9針適配器

100005456         Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 空白

100005457         Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 1 cutout

100005458         Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 2 cutouts

100005459         Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 3 cutouts

100005460         Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 4 cutouts

947系列真空傳感器系統(tǒng)

數(shù)字型加強(qiáng)對流Pirani真空傳感器系統(tǒng)

947系列對流增強(qiáng)型Pirani控制器具有寬的測量范圍10-3至10+3，是用于低真空到中真空的理想選擇。它可用于低真空和中真空的壓力測量，以及對高真空傳感器的激活，或根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)繼電器的預(yù)設(shè)點(diǎn)來啟動系統(tǒng)的真空過程。947系列控制器不僅適合于所有的工業(yè)真空的應(yīng)用，如半導(dǎo)體或食品加工中，還可以應(yīng)用于研究分析設(shè)備中。

  1. 系列主要參數(shù)：

 

  •  

1.0 x 10-3 to 1.0 x 10+3 Torr

  •  
  • 、Mbar、Pa、micron
  •  

5° to 40°C (41° to 104°F)

  •  

90 to 130 VAC, 50/60 Hz, 9 W

210 to 250 VAC, 50/60 Hz, 9 W

  •  
  1.  

947系列訂購指南：

947系列對流增強(qiáng)型Pirani傳感器（包括電源線、輸出互連器和用戶手冊）

947-A-120-TR       947 系列控制器, 120 volts, Torr readout

947-A-220-TR       947 系列控制器, 220 volts, Torr readout

947-A-120-MC       947 系列控制器, 120 volts, micron readout

947-A-220-MC       947 系列控制器, 220 volts, micron readout

947-A-120-PA       947 系列控制器, 120 volts, Pascal readout

947-A-220-PA       947 系列控制器, 220 volts, Pascal readout

947-A-120-MB       947 系列控制器, 120 volts, mbar readout

947-A-220-MB       947 系列控制器, 220 volts, mbar readout

317系列屏蔽型對流增強(qiáng)Pirani傳感器（滿足CE要求）：

103170010SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103170011SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 1/8" NPT-M

103170012SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 8 VCR-F1

103170013SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, Mini 11/3” CF

103170014SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 2¾" CF

103170016SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 15 mm. 管道

103170018SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 18 mm. 管道

103170027SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103170029SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 4 VCR-F1

用于對流增強(qiáng)型Pirani傳感器的線纜：

103170006SH        10 ft (3.0 m)

103170007SH        25 ft (7.6 m)

103170008SH        50 ft (15.2 m)

103170009SH        客戶定制 (zui大500 ft.)

附件：

103150001          電源線, 115 VAC

100005021          安裝硬件

109470020          947系列用戶手冊

100005456          Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN,空白

100005457          Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 1 cutout

100005458          Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 2 cutouts

100005459          Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 3 cutouts

100005460          Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 4 cutouts

959系列熱陰極真空傳感器系統(tǒng)

HPS 959系列熱陰極控制器是一個(gè)緊湊型、經(jīng)濟(jì)的單通道控制器。它能進(jìn)行方便、快速、可靠的壓力測量，所有的操作控制，包括電源的通斷都可以在控制器的面板上方便的進(jìn)行。

959系列可以僅僅作為熱陰極的控制器，如選配Pirani時(shí)也可作為熱陰極/pirani的控制器，959系列能自動的探測所用的HPS標(biāo)準(zhǔn)的Pirani，還是對流型的Pirani，Pirani能控制熱陰極的燈絲，在近大氣壓工作時(shí)能對燈絲起保護(hù)作用。當(dāng)Pirani和熱陰極的輸出有重疊時(shí)，可選擇一個(gè)組合的輸出顯示。

  1. 系列主要參數(shù)：

 

  •  

1.0 x 10-10 to 1000（根據(jù)傳感器）r

  •  
  • 、Mbar、Pa、micron
  •  

5° to 40°C (41° to 104°F)

  •  

90 to 130 VAC, 50/60 Hz, 9 W

210 to 250 VAC, 50/60 Hz, 9 W

  •  
  1.  
  •  
  • 345、317

959系列訂購指南：

959系列控制器

109590015      959系列控制器 讀數(shù)Torr, 50 Hz, 熱陰極

109590016      959系列控制器 讀數(shù)Torr, 60 Hz, 熱陰極

109590025      959系列控制器 讀數(shù)mbar, 50 Hz, 熱陰極

109590026      959系列控制器 讀數(shù)mbar, 60 Hz, 熱陰極

109590035      959系列控制器 讀數(shù)Pascal, 50 Hz, 熱陰極

109590036      959系列控制器 讀數(shù)Pascal, 60 Hz, 熱陰極

109590915      959系列控制器 讀數(shù)Torr, 50 Hz, 熱陰極/Pirani

109590916      959系列控制器 讀數(shù)Torr, 60 Hz, 熱陰極/Pirani

109590925      959系列控制器 讀數(shù)mbar, 50 Hz, 熱陰極/Pirani

109590926      959系列控制器 讀數(shù)mbar, 60 Hz, 熱陰極/Pirani

109590935      959系列控制器 讀數(shù)Pascal, 50 Hz, 熱陰極/Pirani

109590936      959系列控制器 讀數(shù)Pascal, 60 Hz, 熱陰極/Pirani

微型離子規(guī)（MIG）傳感器

100011085      微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲1 管道

100011111      微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 1-1/3 CF

100011112      微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 2-3/4 CF

100011113      微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 NW 25 KF

100011114      微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 NW 40 KF

100011118      微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 NW 16 KF

100011127      微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 3/4 管道

微型離子規(guī)（MIG）電纜

100011106      電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 10 ft.（3m）

100011107      電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 25 ft.（7.6m）

100011108      電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 50 ft.（15.2m）

裸規(guī)熱陰極傳感器

100005987      裸規(guī)熱陰極傳感器，鎢, NW 40 KF

100005980      裸規(guī)熱陰極傳感器，鎢, 2-3/4 CF

100006841      裸規(guī)熱陰極傳感器，涂覆氧化釔的釔, NW 40 KF

100006842      裸規(guī)熱陰極傳感器，涂覆氧化釔的釔, 2-3/4 CF

裸規(guī)熱陰極傳感器電纜

100010909      電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 10 ft.（3m）

100010910      電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 25 ft.（7.6m）

100010911      電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 50 ft.（15.2m）

317系列屏蔽型對流增強(qiáng)Pirani傳感器：

103170010SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103170011SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 1/8" NPT-M

103170012SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 8 VCR-F1

103170013SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, Mini 11/3” CF

103170014SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 2¾" CF

103170016SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 15 mm. 管道

103170018SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 18 mm. 管道

103170027SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103170029SH        317 系列傳感器, 屏蔽型, 4 VCR-F1

345系列屏蔽型Pirani傳感器—滿足CE要求：

103450210        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103450211        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 1/8”NPT-M

103450212        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 8 VCR-F 1

103450213        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, Mini 1-1/3'' CF

103450214        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 2-3/4 CF

103450215        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103450216        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 15mm 管道

103450218        345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 18mm 管道

317和345系列Pirani傳感器的線纜：

103170006SH        10 ft (3.0 m)

103170007SH        25 ft (7.6 m)

103170008SH        50 ft (15.2 m)

附件

103150001      電源線,115 VAC

100005087      輸出連接組件

100005761      安裝件

100883069      CF Nipple帶屏，2-3/4英寸 CF，4英寸

100011229      959系列用戶手冊

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