美國(guó)MKS真空計(jì) MKS 910系列壓電皮拉尼真空計(jì)
專為廣泛的壓力測(cè)量中的應(yīng)用,910系列變頻器結(jié)合壓電micropirani™傳感器技術(shù)。組合的輸出提供了更高的精度,重復(fù)性和穩(wěn)定性,比傳統(tǒng)的熱導(dǎo)率計(jì),更快的響應(yīng)時(shí)間。
美國(guó)MKS真空計(jì) MKS 910系列壓電皮拉尼真空計(jì)優(yōu)勢(shì):
•為節(jié)省空間和測(cè)量范圍寬單傳感器兩個(gè)傳感器
• Ultra compact design
•超緊湊的設(shè)計(jì)
• Absolute pressure measurement from 1500 to 10-5 Torr
•壓力測(cè)量從1500到10-5乇
• Gas independent absolute pressure measurement from 11 to 1500 Torr
•氣體獨(dú)立測(cè)量壓力從11到1500乇
• Fast, accurate and repeatable pressure measurements reduces process cycle time
•快速,準(zhǔn)確和可重復(fù)的測(cè)量壓力減少過程的周期時(shí)間
• Mountable in any orientation for ease of installation; no loss of measurement accuracy
•安裝在任何方向,安裝方便;沒有損失的測(cè)量精度
• Optional display available for local pressure indication
•可選顯示可用的局部壓力指示
• MicroPirani and Piezo solid state sensor is resistant to damage from air inrush or vibration
•micropirani和壓電傳感器抗從空氣侵入或振動(dòng)的損傷
• Three setpoints with fast response time for reliable process control (optional)
•三設(shè)定值與可靠的過程控制的快速響應(yīng)時(shí)間(可選)
• Ease of operation via analog output and digital communication
•通過模擬輸出和數(shù)字通信操作緩解
• Setup, diagnostic and operation software available
•設(shè)置,診斷和操作軟件
• Alternate analog output and electrical connectors available to match other vendors’ gauges and facilitate an easy upgrade
•交替的模擬輸出和電連接器可與其他廠商的儀表和方便容易升級(jí)
• CE marked, compliant with EMC Directive 2004/108/EEC
•CE標(biāo)志,符合EMC指令2004/108/EEC
美國(guó)MKS真空計(jì) MKS 910系列壓電皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用:
910個(gè)傳感器允許用戶將多個(gè)表到一個(gè)單一的,緊湊的封裝。這不僅節(jié)約成本,但可以簡(jiǎn)化操作和他們的系統(tǒng)設(shè)計(jì)。大范圍的測(cè)量能力和可用車載繼電器允許在一個(gè)非常小的足跡的一個(gè)高層次的功能。910可用于任何真空室要求壓力的測(cè)量與交換能力。
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