美國(guó)MKS真空計(jì) MKS 970系列971/972/974冷陰極真空計(jì)
970系列971/972/974是一個(gè)家庭的結(jié)構(gòu)緊湊，成本低，通用傳感器，利用從一個(gè)到四個(gè)傳感器-冷陰極，micropirani™，和壓電技術(shù)。結(jié)合這些傳感技術(shù)能夠從大氣測(cè)量范圍寬10-8 Torr. 970 10-8乇。除了它的體積小，范圍廣泛，成本低，970系列971/972/974可以.通過(guò)數(shù)字通信或作為一個(gè)自主的模擬單元操作。
美國(guó)MKS真空計(jì) MKS 970系列971/972/974冷陰極真空計(jì)優(yōu)勢(shì)：
•小巧的設(shè)計(jì)提供了一種緊湊傳感器解決方案存儲(chǔ)工具房地產(chǎn)
• Single transducer provides a wide measurement
•單傳感器提供了一個(gè)廣泛的測(cè)量大氣10-8乇的范圍(972B and 974B models),（972b和974b模型），消除多個(gè)表的需要
• The MEMS based MicroPirani sensor
•基于MEMS的micropirani傳感器 972B 974B 在972b和974b允許低的汽車 (user冷陰極的開(kāi)啟壓力（用戶
programmable from 2x10-4 to 1x10-3 Torr)
可編程從2x10-4到1×10 - 3毫米汞柱）提高可靠性
• The cold cathode anode module design is
•冷陰極陽(yáng)極模塊的設(shè)計(jì)用戶可減少停機(jī)時(shí)間保存外部的修理費(fèi)用
• All transducers include both analog and
•所有傳感器包括模擬量和為便于數(shù)字通信operation操作
• MicroPirani is automatically zeroed
•micropirani自動(dòng)調(diào)零泵送循環(huán)的過(guò)程中提高了 (972B and 974B models)精度（972b和974b模型）
• Mountable in any orientation for ease
•安裝在任何方向的易設(shè)計(jì)中的靈活使用
• Simplified interface via a single
•簡(jiǎn)化接口通過(guò)一個(gè)單一的平滑的模擬輸出，結(jié)合單個(gè)傳感器的測(cè)量
• Three user configurable relays for process
•三用戶可配置的繼電器的過(guò)程control控制
• Alternate analog output and electrical
•交替的模擬輸出電可另配連接器供應(yīng)商的儀表和方便容易升級(jí)
• Can be used with the PDR900 controller
•可以用pdr900控制器for easy set up容易設(shè)置
• RoHS and CE Compliant
•CE和ROHS標(biāo)準(zhǔn)
美國(guó)MKS真空計(jì) MKS 970系列971/972/974冷陰極真空計(jì)應(yīng)用：
970系列傳感器是緊湊的，低成本的解決方案，用戶對(duì)真空測(cè)量操作在大氣壓力范圍10-8乇。該系列的小尺寸970個(gè)傳感器，使他們的理想的系統(tǒng)集成商希望減少足跡使小型化。應(yīng)用包括：
• Analytical equipment (mass spectrometer control)
•分析設(shè)備（質(zhì)譜儀控制）
• Scanning electron microscopes
•掃描電子顯微鏡
• Coating systems
•涂層系統(tǒng)
• Semiconductor loadlock pressure control
•半導(dǎo)體的負(fù)載壓力控制
• General vacuum base pressure measurement
•一般真空壓力測(cè)量
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