系統(tǒng)簡(jiǎn)單配置如下:
Load lock
真空系統(tǒng): 機(jī)械泵Oil pump/Dry pump + 渦輪分子泵/低溫泵/電磁泵
離子槍: DC / RF
均勻性:100 mm襯底 +/- 4%, 刻蝕速率降低均勻性優(yōu)于+/-2%
襯底尺寸:4英寸襯底(4-12英寸可選),水冷。
終端檢測(cè)系統(tǒng):SIMS 或激光干涉儀。
控制方式:全自動(dòng)電腦控制,半自動(dòng)或手動(dòng)控制可選。
詳細(xì)信息和資料,請(qǐng)!