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  • 多用途高真空蒸發(fā)鍍膜儀

K975X 多用途高真空蒸發(fā)鍍膜儀

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號K975X
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2018-05-15
  • 廠商性質經銷商
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產品數量16
  • 人氣值1624
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南京覃思科技有限公司是由原南京江南光學儀器廠光電儀器專家出資設立的一家從事光學、電子儀器銷售與服務的專業(yè)公司。公司經營范圍主要為:光學儀器;光電測量儀器;電子儀器;與儀器配套的計算機軟硬件的銷售、研發(fā)以及技術服務。公司具有多年行業(yè)經驗,擁有良好的客戶資源和技術能力,所銷售的儀器質量和服務均為*,在用戶中口碑很好。
代理銷售的產品為:“美國OGP”三坐標測量顯微鏡;“韓國MIRERO”掃描電子顯微鏡AIS2100(掃描電鏡SEM);Delong USA Inc低壓桌上型透射電鏡LVEM5(LVTEM超小型臺式透射電鏡);“美國熱電NORAN”X-RAY能譜儀;“英國EMITECH”電鏡制樣設備;“日本尼康(NIKON)”生物顯微鏡;“美國Maxwell”冷光儀(BL/CL法摩爾濃度儀、生物發(fā)光儀、化學發(fā)光檢測儀);“德國萊卡(LEICA)”金相顯微鏡、其它工業(yè)顯微鏡;“日本拓普康(TOPCON)”色彩輝度計BM-7等系列、分光輻射度計SR-3;“英國雷尼紹(RENISHAW)”激光干涉儀、球桿儀;國產“江南牌(JN)”各類顯微鏡;“貴陽新天”萬工顯、投影儀、測長儀;以及與儀器配套的顯微圖象處理分析軟件系統(tǒng)(含各種進口、國產CCD攝像頭)DT-2000等,本公司是韓國MIRERO株式會社*的掃描電子顯微鏡(掃描電鏡SEM)中國總代理,同時還是“英國EMITECH”電鏡制樣設備、韓國SurfaceTech界表面張力\接觸角測量儀中國總代理以及Delong USA Inc桌上型低壓透射電鏡LVEM5中國大陸代理商。本公司還承接各種顯微鏡的數字化改造。技術、質量、服務均為*,在用戶中口碑很好。
本公司一向堅持以“誠信經營、誠實服務”為立業(yè)宗旨,奉行“精研覃思、無微不至”的企業(yè)文化,公司將以更優(yōu)秀的科技產品及服務回報社會,愿與社會各界竭誠合作,共同發(fā)展。
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K975X渦輪蒸鍍儀是一個多用途系統(tǒng),它具有靈活性和模塊化擴展功能,以適應不同的樣品制備。它可從蒸籃和坩鍋進行碳蒸發(fā)、金屬蒸發(fā)并且可選濺射附件。K975X可應用一系列成熟技術,包括鍍碳及TEM覆形,碳/金屬蒸發(fā)、低角度Shadowing和通過使用雙源蒸發(fā)進行順序涂層,可選的濺射鍍膜附件能適用于各種靶材。
多用途高真空蒸發(fā)鍍膜儀 產品詳情

K975X渦輪蒸鍍儀是一個多用途系統(tǒng),它具有靈活性和模塊化擴展功能,以適應不同的樣品制備。
它可從蒸籃和坩鍋進行碳蒸發(fā)、金屬蒸發(fā)并且可選濺射附件。
K975X可應用一系列成熟技術,包括鍍碳及TEM覆形,碳/金屬蒸發(fā)、低角度Shadowing和通過使用雙源蒸發(fā)進行順序涂層,可選的濺射鍍膜附件能適用于各種靶材。
通過使用微處理控制器,更增強了系統(tǒng)的靈活性,用戶很容易附加各種可選件,但是這些“缺省”都是經過優(yōu)化操作設計,使得全自動和手動操作均可實現*操作。
*的抽屜式樣品裝載系統(tǒng)使用戶方便放入各種樣品,鉸鏈式頂蓋結構很容易達到系統(tǒng)其它區(qū)域。
渦輪分子泵安裝在系統(tǒng)外部,可方便安裝及更換,它的前級真空為旋轉真空泵。 整個抽氣過程為全自動控制,達到高真空后進行蒸發(fā)。本儀器為臺式,可方便地進行使用控制,使用中的疏忽也不易造成損壞。

K975S半導體晶圓蒸鍍儀
K975S基于K975X,但是它具有特殊的裝載鎖定門,可允許放入8英寸(200mm)晶圓鍍碳,應用于FIB。

優(yōu)點
容易操作
● 使用靈活
可靠的碳蒸發(fā)
方便的樣品裝載及卸載
● 靈活的操作,可選擇碳及金屬蒸發(fā)源
● 在排氣過程中可防止樣品損壞
系統(tǒng)靈活性強
很容易測量金屬或碳沉積膜厚
 
特點
全自動抽真空系統(tǒng)
● 樣品尺寸可達140毫米見方或200毫米直徑
● *的“anti-stick”碳棒蒸發(fā)機構
● 抽屜式樣品裝載系統(tǒng)
● 可選的蒸鍍類型,具有四種蒸發(fā)設置
● 約束的或開放的排氣控制
● 可選用各種濺射靶材附件適用于一系列金屬
● 可選膜厚監(jiān)測系統(tǒng)
 
可選濺射附件
濺射電流:0到100mA
沉積速率:0到50nm/分(Au)
標準靶:57mm Au(可選Pt, Pt/Pd, Pd, Cr, Ni, Cu, Ag)
定時:0到4分鐘
HT安全互鎖裝置
 
可選膜厚監(jiān)測系統(tǒng)
可選輝光放電
 
技術規(guī)格
 
儀器尺寸:450mm W x 500mm D x 300mm H
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃,帶有鉸鏈式頂蓋。250mm Dia x 300mm H(樣品可達直徑200 mm即8")
安全鐘罩:聚碳酸酯,維護時工作腔室很容易移開
重量:65Kg
碳槍:高度可調,傾斜0-20o ,使用直徑6.15mm碳棒
渦輪分子泵:100L/Second為標準配置,可選各種尺寸
真空范圍:ATM - 1x10-7mbar
工作真空達到時間:15分鐘內
操作真空:10-5 mbar量級(可選液氮冷阱)
蒸發(fā)源(脈沖或可變控制):四種模式可選,低電壓
       a.c. V, 5V, 15V,25V @ 25 amps. 7V @100 amps
樣品臺:0-45o可傾斜         
旋轉樣品臺(可選):直徑60mm,傾斜0-45o,具有
15rpm 到 45rpm可變速度控制
Services –Argon(對可選濺射附件) - Nominal 4psi.
真空泵:No. 2 泵(2m3/Hr),complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter
電源:230V 50/60Hz (包含泵zui大電流為8 Amp);115V 50/60Hz (包含泵zui大電流為16 Amp)
注:In Circuits with Current Trips , when using Pulse for 230 v a 16amp minimum for 115 v a 32 amp minimum
關鍵詞:真空泵 標準
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