上海團結 太陽能硅片檢測顯微鏡,大平臺場硅片測量顯微鏡,明暗場硅片檢測顯微鏡,電腦型硅片顯微鏡,大平臺電腦型硅片顯微鏡,上海團結儀器有限公司 電 話:021-6855 3288 http://www.tjmade.com
一、儀器用途 上海團結儀器有限公司 電 話:021-6855 3288 http://www.tjmade.com
TGB-600 大平臺明暗場是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、無限遠長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數(shù)碼攝像頭。本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔”的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。上海團結儀器有限公司 電 話:021-6855 3288 http://www.tjmade.com
可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析。雜質包括:顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格。是太陽能電池硅片生產過程中*的檢測儀器之一。上海團結儀器有限公司 電 話:021-6855 3288 http://www.tjmade.com
二、技術參數(shù) 上海團結儀器有限公司 電 話:021-6855 3288 http://www.tjmade.com
1.目鏡類型 放大倍數(shù) 視場(mm)
大視野目鏡 10X Φ22
2.物鏡類別 放大倍數(shù) 數(shù)值孔徑(NA) 工作距離(mm)
明暗場無窮遠長距平場消色差物鏡 5X 0.12 9.7
10X 0.25 9.3
20X 0.40 7.3
50X 0.70 2.5
80X 0.80 1.25
3.光學放大倍數(shù):50X 100X 200X 500X 800X
4.三目鏡30°傾斜,雙目瞳距調節(jié)范圍:53~75mm
5.五孔轉換器
6.調焦機構:粗微動同軸調焦, 微動格值:0.8μm,
粗動松緊可調,帶鎖緊和限位裝置
7.載物臺機械式尺寸:280mmX270mm;移動范圍橫向(X) 204mm,縱向(Y) 204mm
8.偏光裝置起偏振器,可360度旋轉,可推拉切換 ;檢偏振器,可推拉切換
9.照明系統(tǒng)12V 50W鹵素燈,亮度可調
10.防霉:*的防霉系統(tǒng)
11.成像系統(tǒng):高像素的CCD攝像頭
三、系統(tǒng)組成 上海團結儀器有限公司 電 話:021-6855 3288 http://www.tjmade.com
(TGB-600):1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數(shù) TGB-600:50--3800倍
五、選購件
1.圖像測量軟件 2.目鏡: 10X(帶刻度) 3.物鏡:40X 60X
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