實驗室硅片檢測顯微鏡 TGB-900詳細技術參數(shù)
一、儀器用途
TGB-900 大平臺明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍并能快速移動的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭。本儀器配有長距平場消色差物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析。雜質包括 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格。是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中的檢測儀器之一。
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析。雜質包括 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格。是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中的檢測儀器之一。
二、技術參數(shù)
1.目鏡
| 類型 | 放大倍數(shù) | 視場(mm) |
| 大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
2.物鏡
| 類別 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑(NA) | 工作距離(mm) |
| 長距平場消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 18.3 |
| 10X | 0.25 | 8.9 | |
| 20X | 0.40 | 8.7 | |
| 40X | 0.60 | 3.7 | |
| 80X | 0.80 | 0.96 |
3.光學放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X 800X
4.系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-2600X
5.落射照明器：6V/20W鹵素燈，亮度可調(diào)
6.濾色片組：黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
8.載物臺：(配有快速移動裝置)
尺寸:250*230mm 移動范圍:153*153mm[標配]
尺寸:274*274mm 移動范圍:203*203mm[選配]
9.粗微同軸調(diào)焦機構，微動手輪格值：0.002mm
10.瞳距調(diào)節(jié)范圍：53-75m
11.成像系統(tǒng):高像素的CCD攝像頭
4.系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-2600X
5.落射照明器：6V/20W鹵素燈，亮度可調(diào)
6.濾色片組：黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
8.載物臺：(配有快速移動裝置)
尺寸:250*230mm 移動范圍:153*153mm[標配]
尺寸:274*274mm 移動范圍:203*203mm[選配]
9.粗微同軸調(diào)焦機構，微動手輪格值：0.002mm
10.瞳距調(diào)節(jié)范圍：53-75m
11.成像系統(tǒng):高像素的CCD攝像頭
三、系統(tǒng)組成
(TGB-900)：1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡
四、總放大參考倍數(shù)
TGB-900：50--3800倍
五、選購件
1.圖像測量軟件 2.目鏡： 10X(帶刻度) 3.物鏡：50X 60X 100X
