儀器參數(shù)和配置：（1）交流電源: 300W 13.56 MHz （2）交流電源匹配: 自動匹配（3）控制: 軟件控制（4）尺寸: 61 X 61 X 30 cm, 重量： 75 lbs （5）樣品室: 直徑20.3mm,25.4mm深（6）標(biāo)準(zhǔn)耐熱玻璃內(nèi)襯，可選石英內(nèi)襯（7）一種氣體供應(yīng)（8）氣體供應(yīng): 包括一個MFC （9）可選擇: 氧氣供應(yīng)泵（10）氣體過濾器（11）壓力計（12）截流閥（13）真空泵, 11 cfm, 115v, 15 amp （14）真空泵過濾系統(tǒng) 主要特點：（1）采用電容耦合電極和化的電極設(shè)計（號：US Patent. 4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511），低失真、高效率的特性，保證了樣品室內(nèi)等離子體分布的均一性；（2）采用自動調(diào)頻高頻發(fā)生器，保證了等離子體發(fā)生的穩(wěn)定性和有效性；（3）采用高精度的流速控制和壓力控制部件，保證了氣體的精確控制、高重現(xiàn)性混合和分布；（4）采用軟件控制，確保控制的方便有效和實時監(jiān)控；（5）一體化的高真空系統(tǒng)，確保了操作的方便性和穩(wěn)定性；（6）多種樣品室可供選擇，如耐熱玻璃和石英等，更能滿足廣大客戶的需求多；（7）體積小，可遠程操作，多種安全保護，保證操作的安全和方便；（8）樣品室和功率設(shè)計合理，可滿足絕大部分科研需要；（9）全自動操作，方便可靠。 應(yīng)用領(lǐng)域：（1）科研材料的研究方面，主要是研究和生產(chǎn)企業(yè)（2）電子領(lǐng)域，如電路板的生產(chǎn)（3）生物芯片領(lǐng)域，如博奧生物芯片公司（4）高分子材料研究單位，尤其是進行特殊處理的（5）儀器的實驗室，作為清洗除污工具，保證儀器的正常使用（6）光學(xué)材料單位（7）電化學(xué)方面，進行表面處理的單位（8）其他，主要進行表面處理的單位