GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品,有自動控制的樣品臺,就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的一致性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺(帶有真空吸盤和控制盒)。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學(xué)元件和塑料等,也可在常壓下進行等離子增強氣相沉積。
性能指標(biāo)和基本配置 | |
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主要參數(shù) | ● 工作環(huán)境:溫度 < 42°C,濕度 ≤ 40℃RH |
RF發(fā)生器 | ● 輸出頻率:20-23kHz , 25KV |
輸入氣體氣壓,工作氣體 | ● 40 PSI min.(0.055 Mpa) |
樣品臺和控制柜 | ● 配有可在X-Y軸移動的樣品臺,通過步進電機驅(qū)動,采用SBC控制盒控制 |
外形尺寸 | 處理樣品臺尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H |
凈重 | 55kg |
文獻 | 請點擊鏈接以了解更多關(guān)于AP-PECVD應(yīng)用的信息:常壓等離子體增強化學(xué)氣相沉積(AP-PE-CVD)用于在低溫下生長薄膜。 |
質(zhì)量認(rèn)證 | 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
保修期 | 一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |