12英寸晶圓輪廓儀為半導(dǎo)體應(yīng)用而開發(fā),適用于12''晶圓檢查,具有自對準(zhǔn)功能
12英寸晶圓輪廓儀已應(yīng)用于雕刻測量、紋理、拋光或微結(jié)構(gòu)表面狀態(tài),尤其是在半導(dǎo)體晶圓的形貌測量。
**技術(shù)
彩色共焦
可見光和紅外干涉測量
激光三角測量
所有表面均可測量(粗糙的,透明的,拋光的表面等)
12英寸晶圓輪廓儀規(guī)格參數(shù)
XYZ行程范圍:300mm x 300mm x 100mm
***大速度:40mm/s
軸向平整度: <5u/300mm
軸向分辨率:0.062um
測量傳感器:非接觸式共聚焦傳感器
測量范圍:100um-25mm
Z軸分辨率:可達(dá)3nm
橫向分辨率:0.9um
臺階高度測量:0.005%
粗糙度測量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測量厚度:4um