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  • 12英寸晶圓輪廓儀

FPALT-altisurf530 12英寸晶圓輪廓儀

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號FPALT-altisurf530
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2024-05-03
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限1
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1482
  • 人氣值8122
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12英寸晶圓輪廓儀是為半導(dǎo)體晶圓形貌測量設(shè)計的多功能晶圓形貌儀器,集成光學(xué)傳感器,實現(xiàn)無接觸地測量樣本
12英寸晶圓輪廓儀 產(chǎn)品詳情
12英寸晶圓輪廓儀是為半導(dǎo)體晶圓形貌測量設(shè)計的多功能晶圓形貌儀器,集成光學(xué)傳感器,實現(xiàn)無接觸地測量樣本。
12英寸晶圓輪廓儀為半導(dǎo)體應(yīng)用而開發(fā),適用于12''晶圓檢查,具有自對準(zhǔn)功能
12英寸晶圓輪廓儀已應(yīng)用于雕刻測量、紋理、拋光或微結(jié)構(gòu)表面狀態(tài),尤其是在半導(dǎo)體晶圓的形貌測量。
**技術(shù)
彩色共焦
可見光和紅外干涉測量
激光三角測量
所有表面均可測量(粗糙的,透明的,拋光的表面等)

12英寸晶圓輪廓儀規(guī)格參數(shù)
XYZ行程范圍:300mm x 300mm x 100mm
***大速度:40mm/s
軸向平整度: <5u/300mm
軸向分辨率:0.062um
測量傳感器:非接觸式共聚焦傳感器
測量范圍:100um-25mm
Z軸分辨率:可達(dá)3nm
橫向分辨率:0.9um
臺階高度測量:0.005%
粗糙度測量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測量厚度:4um
關(guān)鍵詞:輪廓儀 傳感器
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