2657A是一種高電壓、高功率、低電流源測量單元(SMU),具有迄今為止的功率、 精度、速度、靈活性和易用性,能夠大大提高研發(fā)、生產(chǎn)測試和可靠性環(huán)境的測試效 率。2657A是專門針對高壓電子和功率半導(dǎo)體器件的特征分析與測試而設(shè)計的,例如 二極管、FET和IGBT,以及其它一些需要高電壓、快速響應(yīng)和精確測量電壓和電流的元 件和材料。2657A是吉時利功率半導(dǎo)體特征分析和測試解決方案的2600A系列產(chǎn)品,具 有業(yè)界的功率和的低電流性能。這些用戶可配置的解決方案采用了業(yè)界大的參數(shù)式特征分析軟件平臺,能夠隨著用戶應(yīng)用的發(fā)展進行升級。
2657A與其它2600A系列數(shù)字源表一樣,具有高度靈活的四象限電壓和電流源/負載, 并配置了精密電壓和電流計。它可以用作:
? 半導(dǎo)體特征分析儀? 電壓或電流波形發(fā)生器
? 電壓或電流脈沖發(fā)生器
? 支持電壓和電流讀回的精密電源
? 真電流源
? 數(shù)字萬用表(DCV、DCI、歐姆 和六位半分辨率電源)
? 精密電子負載
2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源
主要特性:
? 提供或吸收高達180W的直流或脈沖電 源(±3000V@20mA,±1500V@120mA)
? 1fA低電流分辨率
? 用于高精度和高速瞬態(tài)捕獲的雙22位 精度ADC和每點雙18位1μs數(shù)字轉(zhuǎn)換器
? 易于與其它2600A數(shù)字源表進行系統(tǒng)集 成的全TSP®兼容能力
? 單臺儀器內(nèi)集成了精密電源、電流 源、DMM、任意波形發(fā)生器、電壓或電 流脈沖發(fā)生器、電子18位負載和觸發(fā) 控制器
? 內(nèi)含TSP® Express特征分析軟 件、LabVIEW ®驅(qū)動和吉時利的Test Script Builder軟件開發(fā)環(huán)
典型應(yīng)用:
? 功率半導(dǎo)體器件特征分析與測試
? GaN、SiC和其它一些復(fù)合材料與器件 的特征分析
? 高達3kV的擊穿與漏流測試
? 亞毫秒瞬態(tài)特征分析
兩種測量模式:數(shù)字式或積分式 利用2657A的兩種測量模式,可以對器件的瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)特性進行精確的特征分析,包括快 速改變熱效應(yīng)。每種模式是由其獨立的模數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換器決定的。
數(shù)字式測量模式能夠?qū)崿F(xiàn)高達1μs的采樣速度。利用其雙18位數(shù)字轉(zhuǎn)換器能夠同時捕獲 電壓和電流瞬態(tài)。在積分式測量模式下,利用其雙22位積分式模數(shù)轉(zhuǎn)換器能夠?qū)崿F(xiàn)更精 確的電壓與電流測量。每種測量模式都使用兩個A/D轉(zhuǎn)換器,一個用于電流,另一個用于 電壓,兩個轉(zhuǎn)換器同時工作可以實現(xiàn)精確的電源讀回,且不影響測試產(chǎn)能。
雙高速A/D轉(zhuǎn)換器能夠?qū)崿F(xiàn)每點1μs的采樣速度,支持電壓和電流的全同時特征分析。
擴展功能
通過TSP-Link®技術(shù),2657A能夠與其它2600A系列儀器連接在一起,構(gòu)成更大的具有 32個節(jié)點的集成式系統(tǒng)。內(nèi)置的500ns觸發(fā)控制器能夠確保精確定時與緊密通道同步功 能。利用隔離且獨立的數(shù)字源表通道可以進行真正的每pin腳SMU測試。
高功率器件測試夾具
8010高功率器件測試夾具能夠為高達3000V或100A下帶封裝的高功率器件的測試提供安全和 方便的連接。8010提供的連接支持一個高壓數(shù)字源表(2657A)、一個或兩個高電流數(shù)字源表 (2651A)、三個低功率數(shù)字源表(其它2600A系列或4200-SCS SMU)。利用這一功能,就可以 安全而準確地對雙端(二極管)、三端(晶體管)甚至四端或五端器件進行特征分析。8010具 有全互鎖功能最多可支持六臺數(shù)字源表。8010集成了保護電路,能夠保護低壓數(shù)字源表免受 2657A輸出高壓造成的器件故障。8010內(nèi)含高電流(100A)和高電壓(3000V)測試測試接口。還 有可選的各種備用測試接口,包括TO-247、TO-220、軸心線,以及可以構(gòu)建自定義接口的一個 空接口模塊。除了標準的香蕉跳線,8010還具有背板指示器和熱探針端口,可簡化系統(tǒng)集成。
2600A系列儀器的標準功能
2每臺2657A都具有其它2600A系列數(shù)字源 表所具有的特性和功能:
? 使用靈活,可用作臺式I-V特征 分析工具,也可以作為多通道I-V 測試系統(tǒng)的組成模塊;
? TSP Express軟件,無需編程或安 裝其它軟件即可快速而方便地執(zhí) 行常用的I-V測試。
? 用于半導(dǎo)體元件特征分析的ACS Basic Edition軟件(可選)。ACS Basic Edition現(xiàn)在提供了“Trace” 模式,可產(chǎn)生一套特征曲線。
? 吉時利的Test Script Processor (TSP)技術(shù)支持創(chuàng)建并運行自定義 的用戶測試腳本,用于實現(xiàn)高速自 動化測試,以及創(chuàng)建使測試儀能夠 在沒有PC直接控制的情況下進行 異步操作的程序序列。
? 當(dāng)系統(tǒng)中多臺2600A系列儀器 連接在一起時,具有并行測試 執(zhí)行和精確定時功能。 ? 兼容LXI Class C。
? 14位數(shù)字I/O線,用于直接連接探針 臺、元件機械手或其它自動化工具。
? USB端口,用于通過USB存儲器保存額 外的數(shù)據(jù)和測試程序。
8010型高功率器件測試夾具。
2657A背板