半導(dǎo)體參數(shù)CV測試儀優(yōu)勢
頻率范圍寬:頻率范圍10Hz~1MHz連續(xù)頻率點可調(diào);
高精度、大動態(tài)范圍:提供0V~3500V偏壓范圍,精度0.1%;
內(nèi)置CV測試:內(nèi)置自動化CV測試軟件,包含C-V(電容- 電壓),C-T(電容- 時間),C-F(電容 - 頻率)等多項測試測試功能;
兼容IV測試:同時支持擊穿特性以及漏電流特性測試;
實時曲線繪制:軟件界面直觀展示項目測試數(shù)據(jù)及曲線,便于監(jiān)控;
擴(kuò)展性強(qiáng):系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計,可根據(jù)需求靈活搭配;
基本參數(shù)
典型配置
半導(dǎo)體參數(shù)CV測試儀系統(tǒng)方案
普賽斯半導(dǎo)體功率器件C-V測試系統(tǒng)主要由源表、LCR表、矩陣開關(guān)和上位機(jī)軟件組成。LCR表支持的測量頻率范圍在0.1Hz~1MHz,源表(SMU)負(fù)責(zé)提供可調(diào)直流電壓偏置,通過矩陣開關(guān)加載在待測件上。
進(jìn)行 C-V 測量時,通常在電容兩端施加直流偏壓,同時利用一個交流信號進(jìn)行測量。一般使用的交流信號頻率在10KHz到1MHz之間。所加載的直流偏壓用作直流電壓掃描,掃描過程中測試待測器件待測器件的交流電壓和電流,從而計算出不同電壓下的電容值。