詳細(xì)技術(shù)參數(shù)
TL1200-PECVD系統(tǒng)
| TL1200 管式爐 | 型號(hào) | TL1200-PECVD-I | TL1200- PECVD-II | TL1200-PECVD-III | TL1200-PECVD-IV | |
| 功率 | 3.5KW | 3.5KW | 3.5KW | 5KW | ||
| 爐管尺寸 | 高純石英管:60/80/100/150*1200mm(管徑可選） 兩邊各放置一個(gè)爐塞，爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射，必須在加熱前放置在爐膛的正確位置
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| 外形尺寸（LXDXH） | 1200X380X520 | 1200X420X570 | 1200X420X570 | 1200X440X590 | ||
| 電源電壓 | 220V | |||||
| 相數(shù) | 單相 | |||||
| 加熱元件 | 進(jìn)口瑞典Canthal A1 電阻絲 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載 | |||||
| 控制方式
| 采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)， 主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購(gòu)）
FP93控溫儀表 歐陸儀表 觸摸屏儀表 （日本島電） | |||||
| 控溫模式 | 智能PID | |||||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | |||||
| 過(guò)溫保護(hù) | 有 | |||||
| 過(guò)流保護(hù) | 有 | |||||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | |||||
| 觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | |||||
| 電器 | 浙江正泰 | |||||
| 可控硅 | 106/16E 德國(guó)西門康 | |||||
| 溫度 | 1200 ℃ | |||||
| 額定溫度 | 1100 ℃ | |||||
| 升溫速率 | ≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） | |||||
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/ Min | |||||
| 熱電偶型號(hào) | K 型 | |||||
| 加熱段長(zhǎng)度 | 440mm | |||||
| 恒溫區(qū) | 150mm | |||||
| 溫場(chǎng)曲線 |  | |||||
| 溫度校準(zhǔn) | 定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持爐溫的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在本公司選購(gòu)一套簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具，輔助您完成這項(xiàng)工作，完整的校準(zhǔn)套件包括標(biāo)準(zhǔn)熱電偶，溫度校準(zhǔn)儀，補(bǔ)償導(dǎo)線 | |||||
| 電器認(rèn)證 |
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| 四周表面溫度 | ≤45℃ | |||||
| 閥門和法蘭
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| 射頻電源 （等離子體發(fā)生器）
| 功率輸出范圍 | 0-500W | ||||
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| 反射功率 | 200W | ||||
| 工作頻率 | 射頻：13.56MHZ±0.005% | |||||
| 功率穩(wěn)定度 | +/-0.1% | |||||
| 諧波分量 | ≤-50dbc | |||||
| 射頻區(qū)域?qū)挾?/p> | 0-600mm 可調(diào) | |||||
| 匹配方式 | 自動(dòng) | |||||
| 冷卻方式 | 分冷 | |||||
| 噪聲 | <50dB | |||||
| 射頻接口 | 50Ω N-type | |||||
| 輸入電源 | 208-240V 50/60HZ | |||||
| GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
| 質(zhì)量流量計(jì)
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） | |||
| 耐壓 | 3MP | |||||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | |||||
| 工作（使用）壓力 | 0.3MPa | |||||
| 線性 | ±0.5%F.S. | |||||
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S | |||||
| 路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | |||||
| 接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | |||||
| 系統(tǒng)工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | |||||
| 工作溫度 | 5-45℃ | |||||
| 壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |||||
| 靜態(tài)混氣室 | Dia50 X 400MM | |||||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | |||||
| VS-0.1抽氣系統(tǒng)
方案一或方案二任選一個(gè)
| 電源 | 220V | ||||
| 尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||||
| 波紋管 | KF25X1000mm | |||||
| 用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) | 10 -1Pa | |||||
| 真空擋板閥 | KF25 | |||||
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VRD-8真空泵 （方案一） | 型號(hào) | VRD-8 | ||||
| 極限分壓強(qiáng) | 5X10-2 Pa | |||||
| 進(jìn)排氣接口 | KF25 | |||||
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 1440RPM | |||||
| 抽氣速率 | 2.2L/S | |||||
| 電機(jī)功率 | 0.4KW | |||||
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Preiffer ACP15無(wú)油多級(jí)羅茨泵 方案二 | 型號(hào) | ACP15 | ||||
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | |||||
| 功率 | 450W | |||||
| 重量 | 25KG | |||||
| 氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||||
| 抽氣速率 | 14 m3/h | |||||
| 極限壓強(qiáng) | 0.02Torr | |||||
| 進(jìn)、排氣接口 | KF25 | |||||
| 電阻真空計(jì) （方案一） | 型號(hào) | ZDR-1 | ||||
| 功率 | 25W | |||||
| 真空度測(cè)量范圍 | 0.1-10 5 Pa | |||||
| 電阻硅 | ZJ-52T | |||||
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瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計(jì) （方案二）
| 型號(hào) | PCG554 | ||||
| 輸入電壓 | 24V 1A DC（配有220V變壓器） | |||||
| 真空計(jì)接口 | KF16 | |||||
| 數(shù)字顯示 | 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr | |||||
| 產(chǎn)品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |||||
| 重量 | 5 lbs | |||||
| 檢測(cè)氣體 | 可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好。 | |||||
| 是否防腐 | 防腐 | |||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤30ms | |||||
| 測(cè)量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | |||||
| 分子泵機(jī)組（選購(gòu)）
（方案一或方案二任選一個(gè)） | 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | ||||
| 波紋管 | KF40X1000 | |||||
| 真空擋板閥 | KF40 | |||||
| 機(jī)箱尺寸 | 600X600X600 | |||||
| 分子泵 （方案一）
| 分子泵型號(hào) | FJ620 | ||||
| 輸入電壓 | 380V | |||||
| 分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | |||||
| 分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） | 600 | |||||
| 分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) | 6×10-7 | |||||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | |||||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | |||||
| 環(huán)境溫度 | 0~40℃ | |||||
| 建議啟東壓強(qiáng) | <100pa | |||||
| 分子泵前級(jí)真空TRP-24 (FJ620分子泵必須要配此前級(jí)泵) （方案二）
| 功率 | 0.75KW | ||||
| 電壓 | 380V | |||||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | |||||
| 進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | |||||
| 前機(jī)泵抽氣速率（L/S） | 6 | |||||
| 極限壓強(qiáng) | 4X10 -2Pa | |||||
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德國(guó)Pfeiffer真空泵 （方案二）
| 電壓 | 220V | ||||
| 功率 | 110W | |||||
| 抽氣接口 | KF40 | |||||
| 重量 | 150KG | |||||
| 前機(jī)泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||||
| 抽氣速率（N2） | 33L/S | |||||
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復(fù)合真空計(jì)
| 復(fù)合真空計(jì)型號(hào) | ZDF | ||||
| 電源 | 220V 55W | |||||
| 控制精度 | ± 1% | |||||
| 真空計(jì)測(cè)量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | |||||
質(zhì)保期
一年保修，終身技術(shù)支持
特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項(xiàng)
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊
5.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
TL1200-PECVD系統(tǒng)，由TL1200真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。
主要特點(diǎn)：
1、通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。
4、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
5、廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長(zhǎng)，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無(wú)定型硅(a-Si:H) 等。
這款TL1200-PECVD系統(tǒng)以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3 Pa，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、等優(yōu)點(diǎn)。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
Kanthal A1 原絲 國(guó)產(chǎn)電阻絲爐膛 VS 進(jìn)口電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意）、不會(huì)生銹，使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站：
(5)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好
大部分廠家使用的首鋼生產(chǎn)的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲 Kanthal A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
有時(shí)候電阻不均衡、一部分發(fā)熱量大一部分發(fā)熱量小 溫場(chǎng)效果好
2、安裝有空氣開(kāi)關(guān)和漏電保護(hù)器：
當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí)，空開(kāi)會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)
4、采用4周加熱，溫場(chǎng)更加均衡
5、可選UL認(rèn)證電氣板 （全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
6、認(rèn)證
7、法蘭
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購(gòu)） 可以接電阻真空計(jì)和KF25波紋管的法蘭（選購(gòu)） 水冷法蘭（選購(gòu)）
TL1200-PECVD系統(tǒng)標(biāo)配
| 描敘 | 數(shù)量 | 圖片 |
| TL1200管式爐 | 1 套 |
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| 石英管 | 1根 |
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| 不銹鋼法蘭 | 1 套 | |
| 不銹鋼爐鉤 | 1 個(gè) |
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| 氧化鋁爐塞 | 1對(duì) |
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| 高溫手套 | 1 雙 |
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| 氧化鋁坩堝 | 1 個(gè) |
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| Ｋ型熱電偶 | 1個(gè) |  |
| 485轉(zhuǎn)換接口和軟件（選配） | 1 套 |
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| 說(shuō)明書(shū) | 1本 | |
| 法蘭支撐架 | 1 份 | |
| 供氣系統(tǒng) | 1臺(tái) |  |
| VS-0.1抽氣系統(tǒng) | 1臺(tái) |  |
| 射頻電源 | 1臺(tái) |  |
| 卡套 | 4個(gè) |  |
| 波紋管 | 1支 |  |
| 真空擋板閥 | 1個(gè) |  |
| 鋼瓶接頭（N代表路數(shù)） | N個(gè) |  |
| 閥門接頭 | 2個(gè) |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) | NX5 |  |
