PR500/510等離子灰化機(jī)的詳細(xì)資料
PR500:手動(dòng)控制 PR510:自動(dòng)觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓,玻璃基板對應(yīng)
特征
● 大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計(jì)
● 操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓,玻璃基板對應(yīng)
特征
● 大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計(jì)
● 操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)