型號(hào) | PR500 | PR510 | |
模式 | DP模式,桶型 | ||
控制部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
同調(diào)方式 | 自動(dòng)協(xié)調(diào) | ||
反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 石英 Φ215×305mm | |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(O2/CF4) | ||
控制 | 手動(dòng) | 觸摸屏自動(dòng)控制 | |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書(shū) | |
重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書(shū) | |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |