PDC200/210/510
等離子清洗機特點：
RIE模式標配(DP切換為選購)等離子的均應(yīng)性高操作簡單的液晶觸摸屏控制面。
等離子清洗機用途：
CSB/BGA/COB基板的等離子處理有機膜和金屬氧化膜的除去印刷電路基板的干洗界面活性處理
| 型號 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
| 模式 | RIE模式（DP選配） | DP/RIE切換方式 | |
| 電極制造 | 平行平板電極（固定） | ||
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 控制方式 | 自動聯(lián)動液晶觸摸屏控制 | ||
| 反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 | ||
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar/02) | ||
| 充填氣體 | N2/潔凈干燥空氣 | ||
| 反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計 | 聚合控制器 | 聚合控制器 |
| 真空泵 | 另行選配 | 油回旋真空泵（排氣量345L/min） | 油回旋真空泵（排氣量500L/min） |
| 氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2套、填充氣體1套 | ||
| 高頻輸出功率 | Max.300W | Max.500W | Max.500W |
| 溫度設(shè)定方式 | 用上下鍵進行數(shù)碼設(shè)定 | ||
| 反應(yīng)室尺寸（mm） | 400×250×150 | 400×250×150 | 500×300×200 |
| 電極尺寸（mm） | 250×170 | 250×170 | 400×200 |
| 外形尺寸（mm） | 540×600×600 | 540×600×600 | 700×700×700 |
| 電源(50/60Hz) | 單相AC100V 15A | 3相AC200V 15A | 3相AC200V 15A |
