高頻輸出 50~500W 反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子·常規(guī)桶型。
PR500:手動(dòng)控制
PR510:自動(dòng)觸摸屏控制
此款低溫等離子灰化機(jī)采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途
●去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓,玻璃基板對(duì)應(yīng)
特征
● 大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計(jì)
● 操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式(PR510型)
內(nèi)槽
硅晶圓灰化狀態(tài)
等離子灰化機(jī)PR500/501規(guī)格
型號(hào) | PR500 | PR510 | |
模式 | DP模式,桶型 | ||
控制部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
同調(diào)方式 | 自動(dòng)協(xié)調(diào) | ||
反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 石英 Φ215×305mm | |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(O 2 /CF 4 ) | ||
控制 | 手動(dòng) | 觸摸屏自動(dòng)控制 | |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書 | |
重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 | |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |