真空3軸圓柱坐標型機械手臂特點: |
真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運 |
相比SVHR系列機械手臂,可搬運質(zhì)量提升2倍,具有較好的性價比優(yōu)勢 |
另外還保持了和SVHR系列機械手臂的兼容性,方便客戶對設備進行升級改造 |
機械手臂標準臂長:160mm, 190mm, 260mm, 330mm |
手臂關節(jié)處使用磁流體密封裝置 |
真空密封:磁流體密封裝置和波紋管 |
提高潔凈度的方法:手臂內(nèi)部排氣口安裝5µm級過濾器 |
配備動作監(jiān)視器 |
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓 |
可以選配2相步進電機規(guī)格 |
手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) |
晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式 |
可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供的手指 |
真空3軸圓柱坐標型機械手臂基本參數(shù): |
使用環(huán)境 | 真空部:溫度 15℃~50℃ 驅(qū)動結構內(nèi)部:潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 溫度 15℃~40℃ |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 520mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離) |
升降軸行程 | 20mm / 40mm |
可搬運質(zhì)量 | 2kg (手臂第3關節(jié)處基準) |
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