防水4軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂特點(diǎn): |
防水4軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂STWCR4000系列(配備300 mm晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)+邊緣夾持機(jī)構(gòu)) |
能夠在酸性,堿性霧氣環(huán)境下搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 |
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):160 mm、200 mm |
手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性 |
手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈 |
零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條 |
Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管 |
雙臂結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間 |
配備動(dòng)作監(jiān)視器 |
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī) |
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 |
晶圓固定方式: 真空吸附式,下托式,邊緣夾持式 |
可以針對(duì)搬運(yùn)物體,客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指 |
防水4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù): |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 |
手臂 | 雙臂 |
到達(dá)距離 | 315mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) |
升降軸行程 | 300mm |
可搬運(yùn)質(zhì)量 | 3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) |
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