Alpha-Step D-300探針式輪廓儀/臺階儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D臺階高度。 D-300型探針式輪廓儀/臺階儀還可以在研發(fā)和生產環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 D-300包括一個手動140毫米平臺和*的光學系統以及加強視頻控制。D-300 臺階儀/探針式輪廓儀
產品描述D-300 臺階儀/探針式輪廓儀
Alpha-Step D-300探針式輪廓儀(臺階儀)支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關。 可調節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。
通過測量粗糙度和應力,可以對工藝進行量化,確定添加或去除的材料量,以及結構的任何變化。
產品主要特點
臺階高度:幾納米至1000μm
低觸力:0.5至15mg
視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正:消除側視光學系統引起的失真
圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
緊湊尺寸:占地面積小
主要應用
· 臺階高度:2D臺階高度
· 紋理:2D粗糙度和波紋度
· 形式:2D翹曲和形狀
· 應力:2D薄膜應力
工業(yè)應用
· 大學,研究實驗室和研究所
· 半導體和復合半導體
· LED:發(fā)光二極管
· 太陽能
· MEMS:微電子機械系統
· 汽車
· 醫(yī)療設備