中型 VacIon Plus 泵
安捷倫中型 VacIon Plus 泵具有從 20 到 75 L/s 的氮氣抽速范圍，并具有 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統(tǒng)中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode Vaclon Plus 離子泵用于在恒定的壓力下抽除混合氣體的超高真空應用中，因此非常適用于粒子加速器、同步加速器環(huán)和表面分析等應用。設計的 StarCell 是能同時抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。該泵同樣可以速度和容量處理甲烷、氬氣和氦氣。StarCell Vaclon Plus 離子泵適合需要在 10–8 mbar 或以上壓力下穩(wěn)定工作的應用。
性能指標
| 中型 VacIon Plus 泵 | 抽氣口法蘭 | 型號 | 抽速 (L/s)（在 1–6 mbar 壓力下的飽和泵）氮氣 | 工作壽命（小時）（在 1–6 mbar 壓力下) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|
| VacIon Plus 20 | 2 3/4 英寸外徑 CFF (NW 35) | Star Cell Noble Diode Diode | 20 22 27 | 80000 50000 50000 | 凈重 7 (15) 運輸重量 11 (24) |
| VacIon Plus 40 | 2 3/4 英寸外徑 CFF (NW 35) | Star Cell Noble Diode Diode | 34 36 40 | 80000 50000 50000 | 凈重 17 (37) 運輸重量 21 (46) |
| VacIon Plus 55 | 4 1/2 英寸外徑 CFF (NW 63) | Star Cell Noble Diode Diode | 50 53 55 | 80000 50000 50000 55 | 凈重 18 (39) 運輸重量 22 (48) |
| VacIon Plus 75 | 6 英寸外徑 CFF (NW 35) | Star Cell Noble Diode Diode | 65 68 75 | 80000 50000 50000 | 凈重 19 (42) 運輸重量 23 (51) |
技術規(guī)格
Agilent VacIon Plus 20
(*) 根據 ISO/DIS 3556-1-1992 測試
Agilent VacIon Plus 40
(*) 根據 ISO/DIS 3556-1-1992 測試
Agilent VacIon Plus 55
(*) 根據 ISO/DIS 3556-1-1992 測試
Agilent VacIon Plus 75
(*) 根據 ISO/DIS 3556-1-1992 測試
Agilent VacIon Plus 20
| StarCell | Noble Diode | Diode | |
| 氮氣額定抽速 (*) (L/s) | 20 | 22 | 27 |
| 在 1 × 10–6 mbar壓力下的工作壽命（小時） | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
| 啟動壓力 (mbar) | ≤ 5 × 10–2 | ≤ 1 × 10–3 | ≤ 1 × 10–3 |
| 極限真空 | 低于 10-11 | ||
| 抽氣口法蘭 | 2.75 英寸 CFF (NW 35) AISI 304 ESR SST | ||
| 烘烤溫度 (°C) | 350 | ||
| 重量，kg（磅）（帶鐵氧體磁鐵） | 凈重 7 (15)，運輸重量 11 (24) |
Agilent VacIon Plus 40
| StarCell | Noble Diode | Diode | |
| 氮氣額定抽速 (*) (L/s) | 34 | 36 | 40 |
| 在 1 × 10–6 mbar壓力下的工作壽命（小時） | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
| 啟動壓力 (mbar) | ≤ 5 × 10–2 | ≤ 1 × 10–3 | ≤ 1 × 10–3 |
| 極限真空 | 低于 10-11 | ||
| 抽氣口法蘭 | 2.75 英寸 CFF (NW 35) AISI 304 ESR SST | ||
| 烘烤溫度 (°C) | 350 | ||
| 重量，kg（磅）（帶鐵氧體磁鐵） | 17 (37) |
Agilent VacIon Plus 55
| StarCell | Noble Diode | Diode | |
| 氮氣額定抽速 (*) (L/s) | 50 | 53 | 55 |
| 在 1 × 10–6 mbar壓力下的工作壽命（小時） | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
| 啟動壓力 (mbar) | ≤ 5 × 10–2 | ≤ 1 × 10–3 | ≤ 1 × 10–3 |
| 極限真空 | 低于 10-11 | ||
| 抽氣口法蘭 | 4.75 英寸 CFF (NW 63) AISI 304 ESR SST | ||
| 烘烤溫度 (°C) | 350 | ||
| 重量，kg（磅）（帶鐵氧體磁鐵） | 18 (39) |
Agilent VacIon Plus 75
| StarCell | Noble Diode | Diode | |
| 氮氣額定抽速 (*) (L/s) | 65 | 68 | 75 |
| 在 1 × 10–6 mbar壓力下的工作壽命（小時） | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
| 啟動壓力 (mbar) | ≤ 5 × 10–2 | ≤ 1 × 10–3 | ≤ 1 × 10–3 |
| 極限真空 | 低于 10-11 | ||
| 抽氣口法蘭 | 6 英寸 CFF (NW 100) AISI 304 ESR SST | ||
| 烘烤溫度 (°C) | 350 | ||
| 重量，kg（磅）（帶鐵氧體磁鐵） | 19 (42) |
