Turbo-V 2K-G渦輪分子泵
為薄膜沉積應(yīng)用而專門(mén)設(shè)計(jì)的分子泵解決方案
現(xiàn)有的性能、的儀器
采用集成的方法提高系統(tǒng)效率和正常運(yùn)行時(shí)間的渦輪分子泵
將渦輪分子泵、驅(qū)動(dòng)器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身
通用電子器件接口并配有操作簡(jiǎn)單的控制軟件模擬 I/O 信號(hào)以及 RS232/RS485 接口等標(biāo)準(zhǔn)配置
安捷倫 Profibus 接口
技術(shù)規(guī)格
抽速: | N2:1600 L/s | |||
壓縮比: | N2:3 × 105 | |||
極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) | < 1 × 10-8 mbar | |||
入口法蘭 | ISO 250F | |||
前級(jí)管道法蘭 | KF 40 NW | |||
額定轉(zhuǎn)速 | 33000 rpm | |||
啟動(dòng)時(shí)間 | < 7 分鐘 | |||
推薦的前級(jí)泵 | > 40 m3/h | |||
工作位置 | 任意位置 | |||
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +40 ℃ | |||
電源 輸入電壓 輸入頻率 | 100–240 Vac 50-60 Hz | |||
通訊接口 | 模擬 I/O RS232/RS485 Profibus | 標(biāo)準(zhǔn) 標(biāo)準(zhǔn) 可選 | ||
尺寸 | 高度 重量 直徑 | 335 mm(13.18 英寸) 335 mm(13.18 英寸) 35 kg(77 磅) |