Turbo-V 1001 Navigator渦輪分子泵
Turbo-V 1001 Navigator 泵提供從 790 至 1050 L/s(視氣體而定)的抽速,并且采用 Navigator 產(chǎn)品線中的技術(shù)。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì),可以在低壓強(qiáng)內(nèi)實(shí)現(xiàn)高壓縮比,在大抽氣量和高前級(jí)壓強(qiáng)時(shí)實(shí)現(xiàn)的壓差。該泵無(wú)油、無(wú)污染,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置任意角度安裝而不對(duì)材料施加應(yīng)力。典型的平均故障時(shí)間 (MTTF) 大于 250000 小時(shí)。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體,并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。
功耗更低、性能更佳
通過(guò)減少發(fā)熱而節(jié)能,并提高可靠性
為風(fēng)冷而優(yōu)化的冷卻翅片
通過(guò)降低工作溫度進(jìn)一步提高可靠性
Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有優(yōu)化的幾何尺寸
功率要求低,前級(jí)耐壓高及可承受高氣載
可拆卸的前級(jí)連接器
可連接各種前級(jí)泵
冷卻方式靈活(風(fēng)冷或水冷)
性能指示
抽速: | ISO 160: CFF 10 英寸或 ISO 200: ISO 250: | N2:790 L/s N2:950 L/s N2:1050 L/s | He:820 L/s He:870 L/s He:900 L/s | H2:860 L/s H2:900 L/s H2:920 L/s |
壓縮比: | ISO 160 | N2:1 × 109 | He:1 × 107 | H2:1 × 106 |
極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
抽氣口法蘭 | ISO 160 ISO 200 | ISO 200-F 螺栓 | CFF 10 英寸 | ISO 250 ISO 250-F 螺栓 |
前級(jí)管道法蘭 | KF 40 | |||
轉(zhuǎn)速 | 38,000 rpm | |||
啟動(dòng)時(shí)間 | 小于 4 分鐘 | |||
推薦的前級(jí)泵 | 機(jī)械:Agilent DS 402 旋渦式干泵:Agilent TS300,IDP-15 | |||
工作位置 | 任意 | |||
冷卻要求 | 強(qiáng)制通風(fēng)或水冷 | |||
烘烤溫度 | 抽氣口法蘭溫度 120 °C(CF 法蘭) 抽氣口法蘭溫度 80 ℃(ISO 法蘭) | |||
振動(dòng)參數(shù)(位移) | 在抽氣口法蘭處小于 0.01 μm | |||
重量 kg(磅): | ISO 160 法蘭 ISO 200 法蘭 CF 10 英寸法蘭 ISO 250 法蘭 ISO 200-F 和 250-F 螺栓法蘭,CF 10 英寸法蘭 | 19 (41.8) 19.4 (43.0) 25.5 (54.2) 21.2 (46.6) 25.5 (54.2) |