BOKI_1000 粗糙度測量設(shè)備

參考價訂貨量

￥536000

≥1臺

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

型號BOKI_1000
品牌中圖儀器
所在地深圳市
更新時間2024-08-11

深圳市中圖儀器股份有限公司

廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
入駐年限第4年
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量1699
人氣值177327

產(chǎn)品標(biāo)簽

凹凸計量系統(tǒng)Bump Metrology system 粗糙度輪廓儀價格輪廓儀測粗糙度國內(nèi)粗糙度輪廓儀

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公司介紹主營產(chǎn)品

深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

圖片1500.jpg

中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，擁有一支集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊，歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，研發(fā)出了基礎(chǔ)計量儀器、常規(guī)尺寸光學(xué)測量儀器、微觀尺寸光學(xué)測量儀器、大尺寸光學(xué)測量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業(yè)應(yīng)用檢測設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備，能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。

中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍及全國三十多個省、市、自治區(qū)，產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐、美、東南亞等海外市場，堅持為客戶提供高質(zhì)量產(chǎn)品和服務(wù)。

中圖儀器還將繼續(xù)專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展，自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新，為中國制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)力量！

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	否

Bump是一種金屬凸點(diǎn)，從倒裝焊FlipChip出現(xiàn)就開始普遍應(yīng)用，Bump的形狀有多種，最常見的為球狀和柱狀，也有塊狀等其他形狀，下圖所示為各種類型的Bump。粗糙度測量設(shè)備

粗糙度測量設(shè)備產(chǎn)品詳情

粗糙度測量設(shè)備應(yīng)用

在半導(dǎo)體行業(yè)中，Bump、RDL、TSV、Wafer合稱先進(jìn)封裝的四要素，其中Bump起著界面互聯(lián)和應(yīng)力緩沖的作用。

Bump是一種金屬凸點(diǎn)，從倒裝焊FlipChip出現(xiàn)就開始普遍應(yīng)用，Bump的形狀有多種，最常見的為球狀和柱狀，也有塊狀等其他形狀，下圖所示為各種類型的Bump。

Bump起著界面之間的電氣互聯(lián)和應(yīng)力緩沖的作用，從Bondwire工藝發(fā)展到FlipChip工藝的過程中，Bump起到了至關(guān)重要的作用。隨著工藝技術(shù)的發(fā)展，Bump的尺寸也變得越來越小,從最初 Standard FlipChip的100um發(fā)展到現(xiàn)在最小的5um。

伴隨著工藝技術(shù)的高速發(fā)展，對于Bump的量測要求也不斷提高，需要把控長寬尺寸，高度均勻性，亞納米級粗糙度、三維形貌等指標(biāo)。

以粗糙度指標(biāo)為例，電鍍工藝后的Cu 凸點(diǎn)表面粗糙并存在一定的高度差，所以鍵合前需要對其表面進(jìn)行平坦化處理，如化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)，使得鍵合時Cu 表面能夠充分接觸，實(shí)現(xiàn)原子擴(kuò)散，由此可見把控Bump表面粗糙度是必*過程。

為了貼合工藝制程，積極響應(yīng)客戶Bump 計量需求，中圖儀器以高精度、多功能合一等優(yōu)勢將自研量測設(shè)備推向眾多優(yōu)質(zhì)半導(dǎo)體客戶。BOKI_1000系統(tǒng)支持鍵合、減薄、翹曲和切割后的基板，可以為包括切割后、預(yù)鍵合、銅焊盤圖案化、銅柱、凸塊（Bump）、硅通孔（TSV）和再分布層（RDL）在內(nèi)的特征提供優(yōu)異的量測能力。

以上為量測Bump時的實(shí)時圖像

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