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中圖儀器NS系列涂層臺階膜厚儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其精密的XY平臺結合360°連續(xù)旋轉電動旋轉臺,可以對樣品的位置以及角度進行調(diào)節(jié),三維位置均可以調(diào)節(jié),利于樣品調(diào)整。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
NS系列涂層臺階膜厚儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
1.出色的重復性和再現(xiàn)性,滿足被測件測量精度要求
線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調(diào)
測力恒定可調(diào),以適應硬質或軟質材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。
3.超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導軌,杜絕運動中的細微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。
4.頂視光學導航系統(tǒng),5MP超高分辨率彩色相機
5.全自動XY載物臺, Z軸自動升降、360°全自動θ轉臺
6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)
臺階儀軟件包含多個模塊,為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。
1.參數(shù)測量功能
1)臺階高度:能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數(shù)十項參數(shù)。
3)應力測量:可測量多種材料的表面應力。
2.測量模式與分析功能
1)單區(qū)域測量模式:完成Focus后根據(jù)影像導航圖設置掃描起點和掃描長度,即可開始測量。
2)多區(qū)域測量模式:完成Focus后,根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置,可根據(jù)橫向和縱向距離來陣列形成若干到數(shù)十數(shù)百項掃描路徑所構成的多區(qū)域測量模式,一鍵即可完成所有掃描路徑的自動測量。
3)3D測量模式:完成Focus后根據(jù)影像導航圖完成單區(qū)域掃描路徑設置,并可根據(jù)所需掃描的區(qū)域寬度或掃描線條的間距與數(shù)量完成整個掃描面區(qū)域的設置,一鍵即可自動完成整個掃描面區(qū)域的掃描和3D圖像重建。
4)SPC統(tǒng)計分析:支持對不同種類被測件進行多種指標參數(shù)的分析,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。
3.雙導航光學影像功能
在NS200-D型號中配備了正視或斜視的500W像素的彩色相機,在正視導航影像系統(tǒng)中可精確設置掃描路徑,在斜視導航影像系統(tǒng)中可實時跟進掃描軌跡。
4.快速換針功能
采用了磁吸式測針,當需要執(zhí)行換針操作時,可現(xiàn)場快速更換掃描測針,并根據(jù)軟件中的標定模塊進行快速標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。
磁吸針實物外觀圖(330μm量程)
型號 | NS200 |
樣品觀察 | 500萬像素彩色攝像機 正視視野:2.2×1.7mm |
探針傳感器 | 超低慣量,LVDC傳感器 |
平臺移動范圍X/Y | 電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平) |
單次掃描長度 | 55mm |
樣品厚度 | 50mm |
載物臺晶圓尺寸 | 200mm(8吋) |
臺階高度重復性 | 5 ?, 量程為330μm時/ 10 ?, 量程為1mm時(測量1μm臺階高度,1δ) |
尺寸(L×W×H)mm | 630×610×500 |
重量 | 40kg |
儀器電源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
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