中圖SJ57系列表面粗糙度測量儀器超高精度衍射光學(xué)測量系統(tǒng)一次測量同時評定輪廓和粗糙度參數(shù),具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,分辨率最高達(dá)到0.1nm,系統(tǒng)殘差小于2nm。是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度測量儀器。
高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性:滿足被測件測量精度要求
1)系統(tǒng)掃描軸采用特殊的超高耐磨材質(zhì)復(fù)合材質(zhì)摩擦片,耐磨性能優(yōu)良,穩(wěn)定性高,能保障系統(tǒng)長時間的穩(wěn)定的直線度精度;
2)高精度轉(zhuǎn)軸采用特殊的高剛性、低慣量、超低摩擦系數(shù)的紅寶石轉(zhuǎn)軸系統(tǒng),確保了轉(zhuǎn)動的超高靈敏度及測量精度;
3)超高穩(wěn)定的驅(qū)動設(shè)計,確保了驅(qū)動運(yùn)行過程中不產(chǎn)生任何的振動及干擾,保障了系統(tǒng)掃描運(yùn)動精度;
4)高精度的納米級光學(xué)轉(zhuǎn)軸測量系統(tǒng),保障了儀器超高的分辨率及全程納米級粗糙度測量精度;
5)一體式拔插式碳纖維測桿、高剛性、低慣量,一鍵拔插,特殊設(shè)計的高剛性拔插結(jié)構(gòu),無需鎖螺釘,方便快捷、穩(wěn)定可靠;
SJ57系列表面粗糙度測量儀器采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動系統(tǒng)、高穩(wěn)定性氣浮隔振系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)對球面及非球面光學(xué)元器件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。通過超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能伺服驅(qū)動電機(jī)保證測量的超高穩(wěn)定性及直線度,采用超高精度納米衍射光學(xué)轉(zhuǎn)軸測量系統(tǒng)及高精度直線光柵X軸建立工件表面輪廓的二維坐標(biāo),通過高穩(wěn)定性的氣浮隔振系統(tǒng)保證儀器不受外界振動影響,計算機(jī)采用高精度標(biāo)定系統(tǒng)對采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行修正標(biāo)定,最終還原出工件輪廓信息并以曲線圖顯示出來,通過軟件提供的分析工具可對輪廓及微觀輪廓進(jìn)行各種粗糙度參數(shù)、輪廓參數(shù)分析。
性能特點(diǎn)
1、智能化管理與先進(jìn)軟件分析系統(tǒng)
儀器操作界面友好,操作者易掌握儀器基本操作,使用十分簡便。
1)10多年積累的實(shí)用檢測軟件設(shè)計經(jīng)驗(yàn),向客戶提供簡潔、實(shí)用、快速的操作體驗(yàn);
2)智能化分析及記錄,同批次可自動測量和分析,大幅度減少人員的操作要求及降低人員的勞動強(qiáng)度;
3)測量范圍廣,可滿足絕大多數(shù)類型的工件粗糙度輪廓測量要求;
4)非球面專用軟件分析功能模塊,一鍵式快速測量非球面光學(xué)鏡片;
5)可自動和手動選取被測段進(jìn)行評定,可依據(jù)客戶要求進(jìn)行軟件功能的定制;
6)純中文操作軟件系統(tǒng),更好的為國內(nèi)用戶服務(wù);
7)可打印各種格式的檢定報告,自動顯示、打印、保存、查詢測量記錄,打印格式正規(guī)、美觀;檢定數(shù)據(jù)可存檔,或集中打印,不占用檢定操作時間;
8)本儀器采用計算機(jī)大容量數(shù)據(jù)庫儲存,可自動記錄保存所有檢定結(jié)果。
2、智能保護(hù)系統(tǒng)
儀器在各個方向都有進(jìn)行硬件及軟件保護(hù),能有效的保護(hù)儀器主機(jī)及測針,降低人員因操作失誤帶來的測針及儀器損傷;
模塊測針拔插式結(jié)構(gòu),方便更換,遇到卡針可輕松拆換測針;測量傳感器帶舵機(jī)結(jié)構(gòu),可防止掃描陡坡時的快速下墜。
3、靈活手動控制:
儀器配置了特殊分離式操作桿,操作桿在儀器操作移動時,可放置在任何位置控制操作,在測量工件前對測針進(jìn)行粗定位;在脫離電腦的情況下,操作桿具備左右/上下移動測針、急停、測桿上下角度擺動及速度分多級調(diào)節(jié)功能。
4、成熟的標(biāo)定校準(zhǔn)技術(shù)
儀器配置特殊的高精度標(biāo)定臺,通過簡單的標(biāo)定操作,能對儀器的參數(shù)進(jìn)行誤差補(bǔ)償,對測針針尖磨損進(jìn)行修正補(bǔ)償,使其滿足高精度輪廓測量。