- TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性測試儀性能特點
- TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性測試儀產(chǎn)品綜述
- TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性測試儀應(yīng)用
- TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性測試儀技術(shù)參數(shù)
- TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性測試儀附件
性能特點
- 通道：2（可擴展至6）
- 高偏置：VGS：0 - ±40V，VDS：0–200V,1500V,3000V
- 雙CPU架構(gòu)，最短積分時間0.56ms（1800次/秒）
- 10.1英寸電容式觸摸屏，分辨率1280*800，Linux系統(tǒng)
- 點測、列表掃描、圖形掃描(選件)三種測試方式
- 四寄生參數(shù)（Ciss、Coss、Crss、Rg）同屏顯示
- 快速導(dǎo)通測試Cont
- 一體化設(shè)計：LCR+高壓源+繼電器矩陣
- 快速充電，縮短電容充電時間，實現(xiàn)快速測試
- 自動延時設(shè)置
- 10檔分選
產(chǎn)品綜述
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是同惠電子針對半導(dǎo)體材料及器件生產(chǎn)與研發(fā)的分析儀器。
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀創(chuàng)新性地采用了雙CPU架構(gòu)、Linux底層系統(tǒng)、10.1英寸電容式觸摸屏、中英文操作界面、內(nèi)置使用說明及幫助等新一代技術(shù)，適用于生產(chǎn)線快速分選、自動化集成測試及滿足實驗室研發(fā)及分析。
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀測試頻率為10kHz-2MHz， VGS電壓可達±40V，足以滿足二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體件CV特性測試分析。
得益于10.1英寸、分辨率達1280*800的電容式觸摸屏，TH510系列半導(dǎo)體器件C-V特性分析儀可將四個參數(shù)同屏顯示、所有設(shè)置、監(jiān)視、分選參數(shù)、狀態(tài)等可以在同一屏顯示，避免了頻繁的切換的操作。
功能特點
A.單點測試，10.1英寸大屏，四種寄生參數(shù)同屏顯示，讓細節(jié)一覽無遺
10.1英寸觸摸屏、1280*800分辨率，Linux系統(tǒng)、中英文操作界面，支持鍵盤、鼠標(biāo)、LAN接口，帶來了無以倫比的操作便捷性。
MOSFET最重要的四個寄生參數(shù)：Ciss、Coss、Crss、Rg在同一個界面直接顯示測量結(jié)果，并將四個參數(shù)測試等效電路圖同時顯示，一目了然。
多至6個通道測量參數(shù)可快速調(diào)用，分選結(jié)果在同一界面直接顯示。
B.列表測試，靈活組合
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個通道、4個測量參數(shù)的測試及分析，列表掃描模式支持不同通道、不同參數(shù)、不同測量條件任意組合，并可設(shè)置極限范圍，并顯示測量結(jié)果 。
C.曲線掃描功能（選件）
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以對數(shù)、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描，可同時顯示多條曲線：同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線 。
D.簡單快捷設(shè)置
E.10檔分選及可編程HANDLER接口
儀器提供了10檔分選，為客戶產(chǎn)品質(zhì)量分級提供了可能，分選結(jié)果直接輸出至HANDLER接口。
在與自動化設(shè)備連接時，怎么配置HANDLER接口輸出，一直是自動化客戶的難題，TH510系列將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對應(yīng)信號、應(yīng)答方式等可視化，讓自動化連接更簡單。
F.支持定制化，智能固件升級方式
同惠儀器對于客戶而言是開放的，儀器所有接口、指令集均為開放設(shè)計，客戶可自行編程集成或進行功能定制，定制功能若無硬件更改，可直接通過固件升級方式更新。
儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等，都可以通過升級固件(Firmware)來進行更新，而無需返廠進行。
固件升級非常智能，可以通過系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進行，智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級包，并自動進行升級
G.半導(dǎo)體元件寄生電容知識
在高頻電路中，半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會影響半導(dǎo)體的動態(tài)特性，所以在設(shè)計半導(dǎo)體元件時需要考慮下列因數(shù)在高頻電路設(shè)計中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來的影響；MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅(qū)動能力和開關(guān)損耗等多方面特性；寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計中也是至關(guān)重要，以MOSFET為例。
應(yīng)用
- 半導(dǎo)體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析 - 半導(dǎo)體材料
晶圓、C-V特性分析 - 液晶材料
彈性常數(shù)分析
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品型號 | TH511 | TH512 | TH513 | ||
| 通道數(shù) | 2（可選配4/6通道） | 2 | |||
| 顯示 | 顯示器 | 10.1英寸(對角線)電容觸摸屏 | |||
| 比例 | 16:9 | ||||
| 分辨率 | 1280×RGB×800 | ||||
| 測量參數(shù) | CISS、COSS、CRSS、Rg，四參數(shù)任意選擇 | ||||
| 測試頻率 | 范圍 | 10kHz-2MHz | |||
| 精度 | 0.01% | ||||
| 分辨率 | 10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz | ||||
| 100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz | |||||
| 1Hz 100.000kHz-999.999kHz | |||||
| 10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz | |||||
| 測試電平 | 電壓范圍 | 5mVrms-2Vrms | |||
| 準(zhǔn)確度 | ±（10%×設(shè)定值+2mV） | ||||
| 分辨率 | 1mVrms 5mVrms-1Vrms | ||||
| 10mVrms 1Vrms-2Vrms | |||||
| VGS電壓 | 范圍 | 0 - ±40V | |||
| 準(zhǔn)確度 | 1%×設(shè)定電壓+8mV | ||||
| 分辨率 | 1mV 0V - ±10V | ||||
| 10mV ±10V -±40V | |||||
| VDS電壓 | 范圍 | 0 - 200V | 0 - 1500V | 0 - 3000V | |
| 準(zhǔn)確度 | 1%×設(shè)定電壓+100mV | ||||
| 輸出阻抗 | 100Ω，±2%@1kHz | ||||
| 數(shù)學(xué)運算 | 與標(biāo)稱值的偏差Δ，與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ% | ||||
| 校準(zhǔn)功能 | 開路OPEN、短路SHORT、負載LOAD | ||||
| 測量平均 | 1-255次 | ||||
| AD轉(zhuǎn)換時間（ms/次） | 快速+：0.56ms(＞5kHz) 快速：3.3ms 中速：90ms 慢速：220ms | ||||
| 準(zhǔn)確度 | 0.1%（具體參考說明書） | ||||
| CISS、COSS、CRSS | 0.00001pF - 9.99999F | ||||
| Rg | 0.001mΩ - 99.9999MΩ | ||||
| Δ% | ±（0.000% - 999.9%） | ||||
| 多功能參數(shù)列表掃描 | 點數(shù) | 20點，每個點可設(shè)置平均數(shù)，每個點可單獨分選 | |||
| 參數(shù) | 測試頻率、Vg、Vd、通道 | ||||
| 觸發(fā)模式 | 順序SEQ：當(dāng)一次觸發(fā)后，在所有掃描點測量，/EOM/INDEX只輸出一次 | ||||
| 步進STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點測量，每點均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出 | |||||
附件
標(biāo)配附件
