概述：

等離子體清洗機(jī)由真空腔體及等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是在真空狀態(tài)下，等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進(jìn)行抽真空達(dá)到0.02-0.03mbar 的真空度，再在等離子電源作用下，將氣體進(jìn)行電離，形成等離子體（物質(zhì)第四態(tài)）。等離子電源提供能量使氣體電離成等離子態(tài)。等離子態(tài)顯著的特點(diǎn)是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見(jiàn)光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發(fā)生作用，得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

技術(shù)參數(shù):

罐體尺寸：Φ150×220深；

極限真空度： 9*10-1Pa(配套雙級(jí)旋片真空泵)；

射頻電源，功率0～150 W，數(shù)顯；

充氣系統(tǒng)包括高真空專用微調(diào)閥2套，方便二種不同氣體按比例混合；

真空系統(tǒng) 配真空泵一臺(tái)，抽氣速度≥2 升/秒 ，極限真空9x10^-1，工作電壓220伏。真空專用閥、充氣閥、不銹鋼真空波紋管、高精度數(shù)字式真空計(jì)、規(guī)管（配觸摸屏系統(tǒng)采用進(jìn)口規(guī)管）；

刻蝕系統(tǒng)另加裝水冷樣品臺(tái)；

標(biāo)配采用手動(dòng)邏輯控制?？蛇x配PLC+觸摸屏自動(dòng)控制。