基本信息 | ||
項目 | 參數(shù) | 備注 |
基板尺寸 | 200x200mm/100x100mm |
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旋轉(zhuǎn)速率 | 0-30 rpm |
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基板高度調(diào)節(jié) | 0-150mm |
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設(shè)備整體尺寸 | 4000x7000x2300mm |
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蒸發(fā)舟數(shù)量 | 根據(jù)使用情況具體設(shè)計 |
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低溫蒸發(fā)源 | 5-20cc @400℃ |
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高溫蒸發(fā)源 | 5-40cc @1400℃ |
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前級泵 | 20000L/min 干泵 | 可根據(jù)工藝選配 |
主泵 | 1700 L/s 分子泵 | 可根據(jù)工藝選配 |
本底真空度 | 9E-7 Torr |
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本系統(tǒng)可滿足真空潔凈環(huán)境下制作OLED相關(guān)器件,可配套器件驗證,從而整體驗證OLED材料性能。