基本信息 | ||
項(xiàng)目 | 參數(shù) | 備注 |
基板尺寸 | 100x100mm/25x25mm | 根據(jù)基板定制 |
旋轉(zhuǎn)速率 | 0-30 rpm |
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基板高度調(diào)節(jié) | 0-150mm |
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設(shè)備整體尺寸 | 760x620x2100mm |
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蒸發(fā)舟數(shù)量 | 6個(gè) |
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低溫蒸發(fā)源 | 5-10cc @400℃ |
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高溫蒸發(fā)源 | 5-10cc @1200℃ |
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前級(jí)泵 | 6.2 m3/h 干泵 | 可選配 |
主泵 | 260 L/s 分子泵 | 可選配 |
本底真空度 | 9E-7 Torr |
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本系統(tǒng)可滿足工藝過(guò)程驗(yàn)證有機(jī)及金屬材料,滿足研究過(guò)程中對(duì)于材料真空蒸鍍的初期性能參數(shù)確認(rèn),并可滿足兩種材料共蒸。