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SCREEN單片式半導(dǎo)體清洗設(shè)備SU 3100

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  • 型號(hào)
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  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限第1年
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  • 產(chǎn)品數(shù)量441
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公司主營(yíng)實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國(guó)安捷倫、美國(guó)熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營(yíng)管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營(yíng)產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測(cè)。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
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SCREEN單片式半導(dǎo)體清洗設(shè)備SU3100具有8個(gè)內(nèi)置腔室，吞吐量能夠達(dá)到300wph
SCREEN單片式半導(dǎo)體清洗設(shè)備SU 3100 產(chǎn)品詳情

SCREEN單片式半導(dǎo)體清洗設(shè)備SU 3100具有8個(gè)內(nèi)置腔室，吞吐量能夠達(dá)到300wph。

在日益小型化的半導(dǎo)體行業(yè)中，線寬窄至65納米的器件的大規(guī)模生產(chǎn)已經(jīng)在進(jìn)行中，于2008年開始的45納米加工設(shè)備的開發(fā)正在快速進(jìn)行。由于這些原因，半導(dǎo)體制造商對(duì)占所有半導(dǎo)體制造工藝近四分之一的清潔工藝感到擔(dān)憂，他們正想辦法使用更有效、更高效的清潔設(shè)備。尤其是滿足需求的單晶圓清洗設(shè)備每年都在增加。

SCREEN單片式半導(dǎo)體清洗設(shè)備SU 3100

新型SU-3100旨在適應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)的整體趨勢(shì)。新型SU-3100是久經(jīng)驗(yàn)證的SU-3000技術(shù)的一種改進(jìn)，它擁有更高的晶圓傳輸速度，從而提高了清洗性能和生產(chǎn)效率。其新平臺(tái)可容納多達(dá)8個(gè)內(nèi)置腔室，新開發(fā)的高速晶圓傳輸系統(tǒng)使SU-3100每小時(shí)可處理多達(dá)300個(gè)晶圓。SCREEN還為不同用途開發(fā)了2種新型的多處理室，使SU-3100能夠滿足各種客戶的需求，包括對(duì)當(dāng)今更為精細(xì)的圖案進(jìn)行的高級(jí)處理。SU-3100還具有新的DDI（動(dòng)態(tài)直接噴射）混合系統(tǒng)，該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)高精度的流量控制，使SU-3100適用于當(dāng)今日益多樣化的工藝，并可提高加工效率。此外，根據(jù)設(shè)備的預(yù)期用途和所需的化學(xué)溶液，客戶甚至可以選擇一體式系統(tǒng)，無(wú)需單獨(dú)配置化學(xué)溶液柜。

SCREEN單片式半導(dǎo)體清洗設(shè)備SU 3100


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