關(guān)鍵應(yīng)用:
柵極預(yù)清洗
RCA清洗
光阻去除
氧化硅腐蝕
氮化硅腐蝕
CoSix選擇性腐蝕
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
1、占地面積小,將外部unit 集成在設(shè)備內(nèi)部來(lái)減小整體的占地面積;
2、高產(chǎn)能,優(yōu)化的Marangoni Dryer;
3、重新設(shè)計(jì)槽體流場(chǎng),較好的清洗效果和均一性;
4、有機(jī)清洗,控片回收;
5、機(jī)臺(tái)將back conveyor集成在機(jī)臺(tái)的后上方,節(jié)省了空間 ;
6、機(jī)臺(tái)采用PLC和PC的結(jié)合控制方式, 系統(tǒng)可靠高;
7、優(yōu)化機(jī)臺(tái)內(nèi)部流場(chǎng)設(shè)計(jì),帶來(lái)更好的articleperformance
8、破片偵測(cè)系統(tǒng),防止二次傷害;