至純科技單片式濕法清洗設(shè)備 Ultron S200/S300-儀表網(wǎng)

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

公司主營(yíng)實(shí)驗(yàn)室分析檢測(cè)儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國(guó)安捷倫、美國(guó)熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營(yíng)管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營(yíng)產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測(cè)。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長(zhǎng)色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

至純科技單片式濕法清洗設(shè)備 Ultron S200/S300 產(chǎn)品詳情

隨著半導(dǎo)體芯片工藝技術(shù)的發(fā)展，工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)進(jìn)入28納米以及14nm等更*等級(jí)，隨著工藝流程的延長(zhǎng)以及越趨復(fù)雜，每個(gè)晶片在整個(gè)制造過程中需要超過200道清洗步驟，晶圓清洗變得更加復(fù)雜、重要以及富有挑戰(zhàn)性；清洗設(shè)備以及工藝也必須推陳出新，使用新的戶物理及化學(xué)原理，在滿足使用者的工藝需求條件下，也兼顧降低晶圓清洗成本和兼顧環(huán)境保護(hù)；

減少材料損傷（material loss）；
孔洞的清洗能力；
防止晶片結(jié)構(gòu)損傷（pattern damage）；
金屬、材料及微粒子的交叉污染；
晶圓可靠性改善；

單片濕法設(shè)備的工藝應(yīng)用

去膠及去膠后清洗
爐管及長(zhǎng)膜前清洗
氧化層/氮化硅蝕刻
銅/鈦金屬蝕刻
聚合物去除
擦片清洗
化學(xué)機(jī)械研磨后清洗

單片清洗的亮點(diǎn)

可以提供完整的濕法工藝解決方案，及前瞻的技術(shù)規(guī)劃。
設(shè)備及工藝已經(jīng)通過國(guó)際一線大廠的驗(yàn)證。
設(shè)備平臺(tái)及腔體設(shè)計(jì)種類多，可滿足客戶不同條件。
多層式結(jié)構(gòu)腔體設(shè)計(jì)，化學(xué)品回收率可以達(dá)到95%以上。
自動(dòng)清洗功能（腔體、排風(fēng)口、化學(xué)品噴嘴及手臂），可避免交叉污染及減少微粒子。
*的自動(dòng)工藝控制功能（片/批次），可以改善產(chǎn)品的均勻性。
可靠的視覺辨識(shí)功能，能立即偵測(cè)設(shè)備異常，預(yù)防產(chǎn)品異常。
IPA 干燥功能，可以減少微粒子及水痕。

ULTRON S2XX/S3XX

設(shè)備平臺(tái): ULTRON S-Series

晶圓尺寸: 200mm/300mm，

相關(guān)技術(shù): 全自動(dòng)旋轉(zhuǎn)式濕法清洗適用制程: 晶體管, 連接體, 圖形化, *內(nèi)存, 封裝

名稱	描述
型號(hào)	? ULTRON S2XX	? ULTRON S3XX
晶圓尺寸	? 200mm	? 300mm
上料端口	? 4個(gè)	? 4個(gè)
工廠自動(dòng)化	? OHT possible	? OHT possible
腔體	? 8個(gè)	? 12個(gè), 雙層三排
化學(xué)品供應(yīng)	? 多腔體可用	? 多腔體可用
產(chǎn)能	? Max=295	? Max=590
機(jī)械手臂	? Index Robot : 1個(gè) 晶圓傳送機(jī)械手：2個(gè)	? Index Robot : 1個(gè) 晶圓傳送機(jī)械手：2個(gè)
尺寸	? 2520（W）x 4180(D) x3800(H)	? 2400（W）x 4720(D) x2555(H)

關(guān)鍵詞：機(jī)械手

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
NITTA立式潔凈風(fēng)機(jī)NWF-V-SFRFS62PS1	￥9876	重慶市	重慶津澤機(jī)電科技有限公司	2024-12-27	在線詢價(jià)
德國(guó)WISTRO電機(jī)、風(fēng)機(jī)、風(fēng)扇	面議	上海市	上海邦之言實(shí)業(yè)有限公司	2024-09-04	在線詢價(jià)
Maico ERR/DZR系列風(fēng)機(jī) 希而科極速報(bào)價(jià)	面議	上海市	希而科工業(yè)控制設(shè)備（上海）有限公司	2024-05-30	在線詢價(jià)
隔熱式旋渦防爆風(fēng)機(jī)	￥1880	南京市	全風(fēng)環(huán)?？萍脊煞萦邢薰?/span>	2025-01-16	在線詢價(jià)
德國(guó)ziehl-abegg風(fēng)機(jī)124957	￥100	上海市	上海荊戈工業(yè)控制設(shè)備有限公司	2023-09-26	在線詢價(jià)
KAK足立機(jī)工軸流風(fēng)機(jī)TYPE-AB	￥1000	深圳市	深圳市井澤貿(mào)易有限公司	2023-06-29	在線詢價(jià)

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