ULVAC愛發(fā)科二手葉片式濺射設備CERAUS ZX-1000與2011年投入使用,針對于8英寸晶圓使用。
參數(shù)規(guī)格:
■8英寸規(guī)格,7角形芯Ch
■大氣側搬送系2階段規(guī)格
■濺射室(Ti)×2室、ICP、
■本機尺寸:2400W×2200D×1900H
■電源機柜尺寸:1700W×1300D×2000H
加熱室
■DC濺射規(guī)格
■陰極:磁鐵旋轉型
■目標尺寸:φ 300mm
■基板載物臺:帶靜電卡盤
加熱板
■工藝氣體:Ar、N2
■排氣系統(tǒng):渦輪分子泵+低溫存水彎、干泵
■控制系:PC控制μ Port